中古 MAT ARW461MSG #9225551 を販売中
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ID: 9225551
ヴィンテージ: 2009
CMP System
Process chemicals during production:
Semi-sperse25
Common name: SS-25
Maker: Cabot microelectronics japan
Water
Substrate:
Synthetic quartz
Tempax
2009 vintage.
MAT ARW461MSGは、ハイスループットプロセスで優れた性能を発揮するように設計された先進的なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。高トルクモータを搭載したこのシステムは、2つの研削ステージを備えており、再現性とカスタムラッピングおよび研磨操作のための独立したプログラマビリティを備えています。この2段ユニットは、パーティクルサイズと耐久性を最適化しながら、均一なウェーハ厚を保証します。第1段は材料をウェーハに均等に分散させる特別に設計されたカップを使用し、第2段は高圧エアジェットを使用して反復可能で正確なラッピング結果を達成します。ARW461MSGはまた40 μ m以下まで粒子を集め、ろ過する統合された逆のろ過機械を特色にします。さらに、このツールにはダスト抽出アセットが装備されており、効率的でクリーンなラッピングと研磨結果を得ることができます。このモデルは、タッチスクリーンのコントロールパネルを介して操作され、最適なユーザーフレンドリーと利便性を提供します。また、MAT ARW461MSGは、既存のオートメーションプロセスに簡単に統合できるように設計されています。PLCなどの自動化装置で制御でき、生産加工ラインでの自律運転が可能です。また、バリアグレーの安全パネルをはじめ、ウェーハの動きを防ぐことでオペレータの安全性を向上させる安全機能も備えています。また、高度な計測機能を備えており、ウェハの表面品質と地形をリアルタイムで統合監視できます。全体として、ハイスループットプロセスARW461MSG効率的に動作するように設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。生産ラインやラボに最適なこのツールは、高度な安全性と計測機能を提供しながら、厳格な結果を保証します。
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