中古 LOH X2SL #9277308 を販売中

LOH X2SLは、高精度、高効率の結果を生成するように設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、ロボットサブシステム、ダイヤモンド研削サブシステム、ラッピングサブシステム、研磨サブシステム、インライン検査サブシステムで構成されています。ロボットサブシステムは、2つの独立したロボット駆動ステージを使用して、大きなウェーハを研削、ラッピング、研磨プロセスを正確かつ一貫して移動させるように設計されています。これにより、ヒューマンエラーのリスクを排除し、ウェーハ生産のスループットを向上させます。ダイヤモンド研削サブシステムは、ダブルダイヤモンド研削ホイールを使用して、ウェーハを正確に研削します。このサブシステムには、研削プロセスを監視し、ウェーハのエッジが所望の仕様に接地されるようにパラメータを調整するためのセンサーとソフトウェアも含まれています。ラッピングサブシステムは、ウェーハを所望の平坦度にラップするように設計された、いくつかのポジショナブルラッピングヘッドで構成されています。ステップラッピングプロセスを使用して、ウェーハの表面仕上げを改善し、研磨用に準備します。研磨サブシステムは、ウェーハを滑らかな表面に研磨するように構成された2つの研磨ヘッドで構成されています。これは、ダイヤモンド研磨スラリーを使用して、ウェーハを滑らかにして磨くことによって行われます。スラリーは所望の表面仕上げを与えるために制御され、センサーはプロセスを監視し、それに応じて研磨パラメータを調整するために配置されています。インライン検査サブシステムは、ウェーハの精度と欠陥をチェックするために使用されます。レーザー干渉計と走査型電子顕微鏡を備えたビジョンユニットで構成されています。ビジョンマシンはウェーハのサイズ、形状、結晶方向を分析するために使用され、レーザー干渉計はウェーハの品質を示す微妙な特徴を測定するために使用されます。最後に、走査型電子顕微鏡により、ウエハ表面の詳細な検査が可能です。全体として、X2SLツールは高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨資産であり、ヒューマンエラーのリスクがほとんどない高精度で高効率なウェーハを生成します。様々なサブシステムがシームレスに連携し、要求の厳しい業界に求められる品質の結果を提供します。