中古 LOH / WETZLAR R-F1 #9161353 を販売中

LOH/WETZLAR R-F1は、半導体業界の高品質の要件に達するように設計された、完全に自動化されたウェーハ研削、ラッピングおよび研磨装置です。オペレータの介入を最小限に抑え、完全に自動化されたモードで動作するため、高いスループットと効率を実現できます。LOH R-F1システムは軸および放射状の暴走のために調節することができる空気軸受け紡錘を特色にします。さらに、2つのステッピングモーターにより、最大限の制御と精度を実現し、優れた表面平坦性を実現します。ラッピングヘッドは、研磨研磨パッドをすばやく簡単に変更するためにロックすることができ、さまざまな厚さのウェーハを処理するための大きな旋回角度範囲を持っています。ラッピングアームのユニークなデザインは、安定した反復可能な結果を提供し、エアベアリングスラリーディストリビューターとシールは、正確で一貫した化学アプリケーションを保証します。研削、ラッピング、研磨プロセスはすべて、直感的で使いやすいタッチスクリーンインターフェイスを介して管理されています。これにより、お客様の仕様に合わせてユニットを正確に構成することができます。ユーザーフレンドリーな設計では、バッチモード操作も可能で、オペレータは繰り返しシーケンスのために複数のプログラムを設定することができます。圧力やパッド速度などの追加パラメータをリアルタイムで調整し、プロセスを最適化してスループットを向上させることもできます。WETZLAR R-F1は、最良の表面仕上げとサンプルの損傷を最小限に抑えるために、高度な冷却システムを使用しています。これには、すべてのローラーの冷却ジャケットと高度なエアコンデンサー冷却機が含まれます。このツールには、オペレータの保護とサンプルの完全性を確保するために、PLC安全コントローラと過電流保護や過熱保護などの多くの安全機能も装備されています。最後に、R-F1は完全なプロセスのトレーサビリティを可能にし、すべての生産プロセスを容易に監視、追跡、制御することができます。この資産はまた、完全な記録保持と報告を可能にし、プロセスと製品の品質を最適化するために使用できるすべてのパラメータに関する情報を提供します。