中古 LOH Toro-X-1000 #9047153 を販売中

LOH Toro-X-1000は、LOH Advanced Technic社が製造したウェーハ研削、ラッピング、研磨装置で、半導体業界のウェーハレベルでのポストダイシングに最適です。このシステムは、電子制御段と研削段を備えており、直径3インチ（76。2mm）から6インチ（152。4mm）までのウェーハを簡単に加工できます。Toro-X-1000は自動粉砕およびラッピング制御の単位、温度調整機械、泡のクリーニング用具および圧力制御資産が装備されています。モデルの構造は、電子制御ステージ、エアライン機器、研削ステージで構成されています。電子制御ステージは、PC制御ユニット、ステッピングモータ制御、水冷システム、校正回路で構成されています。PCコントロールユニットは、ウェハ径の設定やホイールの電源設定などのセットアップ作業や、研削品質の制御に使用されます。ステッピングモーター制御は、研削工程中の一定の車輪速度を維持するために使用されます。水冷ユニットは、研削ホイールを冷却し、過熱から保護するために使用され、校正回路は研削工程中の精度を保証します。LOH Toro-X-1000工具のエアラインマシンは、粉砕段に送風機から圧縮空気を送り込み、粉砕面への気流を発生させます。この気流は、研削面を冷却し、プロセス中に発生する熱を放散するのに役立ちます。研削ステージには、研削カップホルダー、研削ホイール、シールドが含まれており、研削プロセスによる衝撃からウェハを保護します。研削砥石は一般的にダイヤモンドメッキされており、ウエハータイプに基づいてサイズが異なります。Toro-X-1000資産の研削工程は、主な研削工程と、ラッピング工程と研磨工程で構成されています。主な研削動作は、ウェーハの薄い層をカットして、ラッピングと研磨の出発点を形成します。ラッピングステージでは、ウェーハの表面をラップするために反対方向に移動する2つのホイールで構成されています。磨く段階の間に、ダイヤモンド粒子が付いている回転磨くパッドは均一な終わりを加えるためにウエファーの表面を磨きます。要するに、LOH Toro-X-1000は、最大6インチウェーハを処理するように設計された精密ウェーハ研削、ラッピング&研磨モデルです。それは総合的な電子制御段階、粉砕車輪および空気ライン装置を特色にし、粉砕、ラッピングおよび磨く段階の間に正確な制御そして保護を提供します。このシステムのハイテク機能により、半導体業界のポストダイシングに最適です。