中古 LOH RF 3A #77401 を販売中

LOH RF 3Aは、最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨（WGPL）装置です。この汎用性の高い加工システムは、研削と研磨の両方の機能を統合し、ウェーハの複数の加工プロセスを可能にします。RF 3Aは、直径8インチまでの3インチおよび4インチのウェーハに対応できるユニークなアーキテクチャを備えています。それはさまざまな粉砕および磨く車輪の広い範囲を扱うことができる強力なロボットツールチェンジャーによって動力を与えられます。LOH RF 3Aユニットは、高精度スキャナ、モーションコントロールマシン、ロボットIOモジュールで設計されています。スキャナはウェーハの位置を正確に検出し、インプロセス検査を行います。ウェーハレシピのライブラリが内蔵されているため、さまざまな設定でさまざまなウェーハを確実に加工できます。モーションコントロールツールは、位置決め、研削、研磨操作において高速かつ精度を提供するように設計されています。ロボティックIOモジュールは、すべての加工パラメータを正確かつ再現可能に制御します。RF 3Aは、加工領域内の温度を維持するために内蔵のチラーを備えています。LOH RF 3Aは良質および反復可能な性能のために設計されています。非常に平らで滑らかな表面仕上げでウェーハを残すことができます。このマシンは高度に自動化されており、1つのセッションで複数のウェーハを処理することができます。高度な設定が可能で、複数の加工作業やプロセスを可能にします。このアセットは、強力なコンピュータベースのプロセスコントローラによって実行され、設定とパラメータに高い柔軟性を提供します。さらに、RF 3Aは最も信頼性の高い安全機能を備えて設計されています。それは安全インターロックおよび機械の安全で、適切な操作を保障する他の安全特徴と造られます。このモデルは、機械的、電気的、RFに対応しているため、さまざまなウェハアプリケーションに適しています。LOH RF 3Aには、簡単で直感的なインターフェイスとセットアップが付属しているため、オペレータはさまざまなプロセスに対応するマシンを迅速かつ効率的にセットアップできます。全体として、RF 3Aはウェーハの加工用に特別に設計された、高性能で信頼性の高いWGPL機器です。精密スキャンおよびモーションコントロールシステム、ロボットツールチェンジャー、自動化プロセスにより、再現性と高品質の加工結果が得られます。LOH RF 3Aは非常に構成可能で、様々なウェーハの複数の加工プロセスに使用できます。