中古 LOH PM 150 #77402 を販売中
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LOH PM 150は、最高の生産性、スループット、および業界最高レベルの部品品質を提供するように設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。ウエハサイズと厚さを最高精度でコントロールし、最適な表面仕上げに最適化されています。PM 150は、ナノメートルスケール機能を備えたウェーハサイズ、形状、研磨および研削要件など、さまざまなウエハサイズに簡単に対応できます。これは、迅速なサイクルタイムを提供し、操作の安全性を念頭に設計されています。このシステムは、さまざまな材料や基材の超精密なラッピングおよび研磨に最適な堅牢で耐久性のある構造を備えています。大型プレート積載能力により、大規模研削、ラッピング、研磨作業において高い生産性を実現します。独特な2段階の粉砕および磨くプラットホームが含まれています、有効な、高精度の材料の取り外しを提供します。ダイヤモンドスラリーからイオン化された粒子まで、研削、ラッピング、研磨条件の広い範囲を適用することができます。また、ダイヤモンドマイクロ粒子、酸化アルミニウム、炭化ケイ素などの研磨剤のフルレンジが含まれています。可変スピードコントローラを使用すると、プロセス速度を材料タイプに合わせることができ、比類のない制御と反復可能な結果が得られます。LOH PM 150は、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンのグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を備えており、迅速なプロセス設定と最適化を可能にします。直感的な編集ツールにより、プロセスレシピの作成、保存、アクセスが簡単になります。さらに、複数のデータチャネルとプロファイリング機能により、材料除去とフィルム形成のプロファイルが精密要件に適合します。機械の統合された、進歩的な粉砕の単位は均一な速度、仕事圧力およびスライス力のようなプロセスパラメータを、自動的に置くことでユーザーを導くように設計されています。統合されたモーターヘッド設計は、柔軟に配置可能な低振動モータ実装を提供し、モータの迅速な変更を容易にし、サービス時間を短縮します。PM 150は、信頼性が高く、効率的で反復可能な結果、厳格な安全性、合理化されたプロセス設計、直感的なGUIおよび精密制御のおかげで、生産ラッピングおよび研磨に最適なツールです。このアセットは、1時間あたり最大150個のウェーハの生産出力を備えており、作業において最高の精度と再現性を必要とする組織に最適です。
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