中古 LOGITECH PM5 #9206610 を販売中

LOGITECH PM5は、自動化されたオールインワンウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。この革新的なシステムは、手動システムと同じ品質のウェーハ研削と研磨のための高速サイクルタイムを提供するように設計されており、研究および製品開発に必要な正確でプログラム可能で再現可能なプロセスを提供します。LOGITECH PM 5は、精密工具スピンドル、ダイナミックテンショニングユニット、および調整可能な角度トラバースを組み込むことにより、直径8インチまでの研削、ラッピング、研磨ウェハに優れた能力を提供します。この機能は、実際の製造プロセスのためのウェーハあたりのコストを削減するのに役立ちます。サイクロメーター駆動と精密モーションコントロールのユニークな組み合わせにより、機械は最大5,000rpmの速度に達することができ、手動システムによって達成されたものを上回る精度と再現性のレベルを生成することができます。PM5は統合された測定ステーションを備えており、PCV（プロセス制御検証）を現場で完了させることができます。これは高解像度のデジタルカメラで実現されており、プロセス前後のウェーハトポグラフィ測定用の画像のキャプチャや、グラインドとラップの歪みのリアルタイム解析が可能です。この機能は、プロセスパラメータと製品最適化のための強力なフィードバックを提供します。PM 5は、広範囲の材料サイズと種類を処理することができ、また、スラリーの組み合わせの多種多様な材料を研磨することができます。さらに、この機械は多結晶ダイヤモンド（PCD）、ダイヤモンド、およびcBNを含む研磨剤の範囲を収容することができます。このツールには、マシンのセットアップと操作を完全に制御できるカスタマイズされたユーザーインターフェイスも装備されています。LOGITECH PM5は、堅牢な構造、正確な操作、革新的な機能により、計測、研究開発プロセスなどのウェーハ生産ニーズに最適です。自動化されたウェーハ研削、ラッピング、研磨資産は、ウェーハの最高レベルの品質を維持しながら、再現可能な精度で迅速かつ正確なウェーハ処理を提供します。