中古 LOGITECH PM5 #293630266 を販売中

LOGITECH PM5は、半導体ウェーハの加工に使用される自動ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。このシステムは非常に効率的で、特に研削、ラッピング、研磨などの結合プロセスの厳しい要件を満たすように設計されています。この機械には、300mmまたは450mmの自動両面研削ユニットと300mmまたは450mmの片面研磨チャンバーが装備されています。冷却制御バルブと真空チャックを備えており、効率的な精密研削と研磨が可能です。さらに、このマシンは、さまざまな厚さのウェーハ用のデュアルチャンバーラッピングプロセスを実行できます。さらに、柔軟なオートメーションユニットにより、マルチタスク処理と他の処理ステップの統合が可能です。機械の中心は精密ドライブ機械および優秀な表面の終わりを提供するために同期される粉砕/磨く単位を含む複数の部品から成っています。研削/研磨ユニットには、2つのプログラマブル周波数モータによって独立して駆動される2つのダイヤモンドヘッドが装備されており、正確で均一な結果を提供します。ダイヤモンドヘッドは4000/5000 rpmで回転し、ほぼ完璧な球面仕上げを生み出します。このマシンには、高度なセンサーと直感的なユーザーインターフェイスが装備されており、パラメーター設定が簡単に行えます。また、緊急停止ボタン、クラッシュ保護、中央ユニットなど、機械のパフォーマンスを常に監視し、詳細な監査レポートを作成する多数の安全機能も提供しています。要約すると、LOGITECH PM 5ウェハ研削、ラッピング&研磨ツールは、生産レベルのスループットを考慮して設計された高効率で高度なCMPマシンです。使いやすいユーザーインターフェイスと詳細な監査レポートにより、正確で均一な表面仕上げが可能です。柔軟な自動化アセットにより、複数の処理ステップを統合することができ、さまざまなアプリケーションに適しています。