中古 LECO GP-20 #9039443 を販売中

LECO GP-20はMEMSの研究および生産のような特定の適用に高精度の結果を提供するように設計されているウェーハの粉砕、ラッピングおよび磨く装置です。GP-20のシングルウェーハシステムは、最高レベルの精度を実現しながら、効率的で信頼性の高いプロセスを提供します。手作業での作業を最小限に抑え、高いスループット能力を備えているため、多くの高品質ウェーハを短時間で生産できます。LECO GP-20は、最大50mmウェーハをサポートし、最大10,000RPMで動作する8インチシングルウェーハチャックを備えています。チャックは、ウェーハ平坦性を確保するために高耐久実装と正確な軸及びラジアルアライメントが可能であり、研削および研磨プロセスの改善に優れたクランプ力を提供します。また、汚染のリスクを低減するためのチップクリーニングノズルも付属しています。GP-20は正確なプロセス制御とプログラム可能なラッピングと研磨を提供します。プロセスパラメータはオペレータによって設定され、単位は高精度の結果のための速度、圧力および供給率を制御します。また、研削およびラッピングプロセスを監視し、最適な性能を得るために圧力と送り速度を自動的に調整する触覚センサーも含まれています。また、LECO GP-20は、回路障害を防止するための電気絶縁チップと、ウェーハの表面をフラッシュするフラッディングノズルを内蔵しています。このノズルは、ウェーハ表面にDI水を充填し、研磨材とウェーハの反応を低減します。研削とラッピングが完了すると、ウエハは研磨の準備が整います。GP-20には、ダイヤモンドスラリーを高精度に正確に分配することができる自動ダイヤモンドスラリー投与機が含まれています。投与量、時間、圧力などのスラリーの分配指示とパラメータを自動的に制御するようにプログラムすることができます。このツールには、研磨中にスラリーを正確に測定および分配することができるスラリーポンプも含まれています。LECO GP-20は、高度な機能と高度なエンジニアリングの組み合わせにより、高精度な結果を提供します。精度が不可欠なMEMS研究や生産などの用途に適しています。その自動化と使いやすさは、最小コストで高い歩留まりを達成するための理想的な選択肢です。