中古 LAPMASTER XLP-15 #9259360 を販売中

LAPMASTER XLP-15は、LAPMASTER Wolters社のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。様々な素材で作られた片面ウエハーや両面ウエハーを研削、ラップ、研磨するために使用されます。このシステムは、2軸CNC制御の研削ラップを備えており、複数のウェーハ表面で高精度のサブミクロン処理を可能にします。研削ラップは、基板表面の凹凸につながる可能性のある横振動を最小限に抑えるように特別に設計されています。XLP-15は、多量の片面および両面ウェハの変換に適しています。これは、異なる基材の調整可能な設定を備えた正確な研削とラッピングユニットが含まれています。調整可能なリニアフィードにより、ウェーハが正確かつ均一にラップされます。LAPMASTER XLP-15には、ウエハ基板のすべての表面が完全にきれいで粒子のないことを保証するユニークな2段クリーニングプロトコルが装備されています。これは、完成したウェーハにデバイスまたはアセンブリプロセスのパフォーマンスに影響を与える可能性のある汚染物質がないことを保証するのに役立ちます。このユニットには、高精度の研磨チャンバも含まれており、一貫性のある表面仕上げを保証するために、幅広い研磨プロトコルを提供します。このチャンバーは、ウェーハの表面を除去または形成して所望の結果を得るプロセスであるウェーハをドレスするために使用することもできます。最後に、XLP-15は、すべてのウェーハ表面の正確かつ均一な処理を保証する正確で信頼性の高い線形位置決め機を含みます。これにより、ウエハ基板のさまざまな表面が毎回正確にラップされ、研磨され、装着されます。