中古 LAPMASTER LSP-6 #293810738 を販売中
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LAPMASTER LSP-6は、最も困難な太陽電池、半導体、オプトエレクトロニクスおよびその他の技術グレードの基板の信頼性の高い生産と加工のために設計された最先端のウェーハ研削、ラッピングおよび研磨装置です。これは、既存のシステム上で重要な技術の進歩を特徴とし、ユーザーが迅速かつ正確にフォトリソグラフィックイメージングとデバイス処理を達成することができます。このシステムは、複数のステーション間でウェーハ研削工具を素早く動かすことができる単一の多軸ロボットアームを使用しています。これにより、1つのウエハ上で複数の表面研削作業を順番に行うことができ、各作業に必要な時間を効果的に削減できます。また、ロボットアームは高精度な研削加工を可能にし、マニュアルシステムでは実現できない精度でウェーハの正確な再現性を確保します。また、非常に薄い基板の加工用に設計された高速ラッピングステーションを備えています。このステージは、高速かつ高精度で効果的なラッピングを保証します。内部モーションモニタリングマシンは、ラッピングプレートの強度と動きがプロセス全体で一貫していることを保証し、一貫した結果を得ることができます。工具の最終段階は、基板に最終的で最高品質の仕上げを保証するように設計された研磨ステーションです。研磨ステーションは高度なメディア分配資産を備えており、ユーザーは要件に応じてメディアのサイズと流量を調整することができます。また、再循環装置を採用しているため、サイクルタイムが低く、研磨工程全体で一貫した高精度を実現できます。LAPMASTERファミリーの補完部品と組み合わせて使用する場合、LSP-6は広範囲の高度な基板を処理および製造するための包括的で効率的で費用対効果の高いソリューションを提供します。その高度な機能とユーザーフレンドリーな設計により、ユーザーは実質的に簡単な高精度の研削、ラッピング、研磨プロセスを体験することができます。
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