中古 LAPMASTER 48 #9203948 を販売中

LAPMASTER 48は、さまざまなウェーハ製造プロセスのフルレンジのために設計された最先端の自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムはモジュラー設計を採用しているため、微細な超薄型Si層（<20um）から、直径300mmまでの超薄型の基板まで、さまざまなサイズ要件に簡単に構成できます。コア構造は、精密モータに結合された特許取得済みの固定スピンドルと、精密ウエハ研削・研磨のニーズに合わせて高さと傾きを調整できる多軸自動モーションユニットからなる垂直加工ヘッドアセンブリで構成されています。支持粉砕/研磨システムは、最大20,000RPMと+/-2 μ mの精度を生成することができ、高級電気スピンドルモータを持っています。付属のダイヤモンドラッピングディスクには、ウェーハからウェーハまでの最適な再現性を実現する精密制御が施されています。ウェーハ研削、ラッピング、研磨機はまた、ツールの効率的で正確かつ安全な操作のためのユニークなチップコントローラを提供しています。これは、マシンのセットアップ時間と最小オペレータ相互作用の大幅な削減を提供するようにプログラムされています。モジュール構造はまた、再循環の冷却資産、真空フィルター、エアフィルターブロワー、ライトビーム診断、および特定のアプリケーションのニーズのための他のカスタムコンポーネントなどの追加のコンポーネントを組み込む柔軟性を提供します。また、機器のセットアップや操作に便利な洗練されたソフトウェアを搭載しています。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）をサポートしており、セットアップと運用プロセスを通じてユーザーを導きます。このシステムはまた、正確かつ再現可能な操作のための制御プログラムの包括的なライブラリを提供します。結論として、48は、最も要求の厳しいアプリケーションのニーズを満たすように設計された高度で高性能なウェーハ研削、ラッピングおよび研磨ユニットです。非常に構成可能で、優れた精度と再現性を備えているため、半導体製造、光学/光電子研磨、光学薄膜製造などの用途に最適です。