中古 LAPMASTER 36 #9274730 を販売中

LAPMASTER 36は、高度なデバイスICメーカーのニーズに合わせて設計された包括的なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。独自の先進技術を組み合わせた36は、ほとんどのウエハタイプで正確な平面化と平面精度を実現します。LAPMASTER 36の中心は独立した紡錘モーターによって作動させる3つの統合された頭部から成っている排他的な粉砕/ラッピング/磨く頭部です。上部の頭部には、輪郭を描いたプラテンが横切る花崗岩のスラブがあります。中央と下部のヘッドにはコットンベースのラッピングフィルムがあり、ウェーハを研磨、ラップ、研磨します。上下のヘッドは独立して上下に移動し、ウェーハに印加される圧力を調整することができます。高速制御可変駆動モータにより、既存のウエハ構造に過度の熱を発生させたり損傷を与えたりすることなく、研削/ラッピング/研磨性能に優れています。LAPMASTER 36には、実行中のプロセスが安全でない場合にすぐにマシンを停止させるE-STOP機能など、いくつかの安全機能が含まれています。さらに、ウェーハが正しくロードされていないことを自動的に検出し、ウェーハが正しくロードされるまで処理されないようにします。このモジュールには、レシピストレージ、リアルタイムマシンのステータス監視、ランツーコンプリート機能など、いくつかのオートメーション機能が含まれています。これにより、圧力設定、プラテン速度、ラッピングフィルムなど、ウェーハの各タイプに関連するプロセスステップを簡単にプログラムおよび監視できます。36の高度な制御ユニットは、連続的なフロー操作を容易にし、それは理想的に大量の生産設備に適しています。さらに、機械が提供する高度な統合と制御により、プロセスのパフォーマンスを容易に監視でき、問題が発生したらすぐに問題を特定できます。要するに、LAPMASTER 36の高度な機能は、ウェーハの最高レベルの平面化と平坦度の精度を達成するために探しているデバイス製造メーカーに最適です。洗練された技術、安全機能、オートメーション機能を組み合わせることで、さまざまなウェーハタイプで常に正確な結果を提供するのに最適です。