中古 LAPMASTER 285/4 #9387801 を販売中

LAPMASTER 285/4ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、半導体製造プロセスを中心に使用される最先端の研磨システムです。このユニットには、285mmのワークテーブルと4軸制御プラットフォームという2つの機械的プラットフォームがあり、最大4つのワークを一度に収容できます。それは13のampモーターによって運転され、液体に防塵および不浸透性であるハウジングで囲まれます。過熱によるワークの損傷を防止する熱管理機を内蔵しています。LAPMASTER 285/4の研削およびラッピング手順は、調整可能なクランプ力を備えたキャリアプレートで始まります。このキャリアプレートには、固定砥石と回転ラッピングプレートが収納されています。クランプの力はコントローラーによって工作物と粉砕車輪間の有効な接触を保障するために調節することができます。一定の速度で、研削とラッピング工程をワークの両側に適用することができます。均一な研磨を実現するために、285/4は、ワークによって放出される光信号にロックする独自のクローズドループ工具を使用しています。このフィードバックは、研磨工程の不規則性を最小限に抑えるためにモータの速度を調整するために使用されます。このアセットには、ウェーハ表面の品質を検証し、最高水準を満たしていることを確認する統合されたエンドオブサイクル検出器も含まれています。285/4もプログラム可能で、スロッティング、穴あけ、エッジプロファイリングなど、さまざまなアプリケーションで最大500のプログラム可能な設定が可能です。そのソフトウェアはまた、再現可能な研磨ジョブのために最大1000レシピを保存することができ、スループットを最適化し、処理時間を節約することができます。また、遠隔操作も可能で利便性も向上しています。精密ウエハ加工に最適で、最高の品質と再現性を提供するように設計されています。LAPMASTER 285/4は、さまざまな用途に対応する効率的で信頼性の高い機器であり、多くの半導体メーカーに最適です。