中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS SABRE 3D #293615348 を販売中
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販売された
ID: 293615348
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2011
Plating system, 12"
(2) Load ports
(4) Process chambers
Copper layer
Missing parts
2011 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS SABRE 3Dは、最先端のウェーハ研削、ラッピング&研磨システムです。NOVELLUS SABRE 3Dは、汎用要件から最先端の半導体デバイス製造まで、幅広い用途向けに設計されています。ISOと微細な表面仕上げの両方に、高い精度と再現性を提供します。LAM RESEARCH SABRE 3Dは、優れた性能を提供するためにいくつかの革新的な技術を利用しています。そのシングルスピンドルとモーターは、卓越した再現性、精度、およびダイナミックな応答を提供します。その統合された締め金で止めるシステムおよび自動化された公衆衛生ルーチンは優秀な粉砕の結果を提供している間部品を安全および安全保ちます。さらにプロセス時間を最適化するために、SABRE 3Dは高精度の光学ツールユニットを使用して、部品とツールの適切な整列を保証します。LAM RESEARCH/NOVELLUS SABRE 3Dは、工具や部品の摩耗に対処するいくつかの機能を備えています。その高度なセラミックコーティングは、研削砥石が非常に耐久性があり、摩耗から保護されていることを保証します。その調節可能な真空システムは、工具寿命を延ばすのに役立ちますが、内蔵のセンサーは工具の変化とエアベアリング調整を検出し、各工具をより理想的な速度で実行できるようにします。NOVELLUS SABRE 3Dは、精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨に不可欠な装置です。直感的なコントロールと多次元ユーザーインターフェイスを備えており、研削、ラッピング、研磨、および動的安全パラメータを完全に制御できます。さらに、内蔵の診断機能により、エラーをすばやく特定して対処できます。さらに、LAM RESEARCH SABRE 3Dは、LAMNOVELLUS CNC制御システムを最大限に活用し、お客様の環境に簡単に統合してプロセスの最適化と制御を提供します。SABRE 3Dは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨において最高の性能を発揮します。そのユニークな技術は、比類のない精度と再現性を提供し、あらゆるアプリケーションのプロセスパラメータを迅速に最適化することができます。革新的なデザインと最先端の機能を備えたLAM RESEARCH/NOVELLUS SABRE 3Dは、品質や安全性を損なうことなく、完璧な表面仕上げを実現するための理想的なツールです。
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