中古 KYOTSU-SEIKI Y-1000 #9257665 を販売中
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ID: 9257665
ヴィンテージ: 1985
Single-sided polishing machine
Brass disc
Head outer diameter: φ420
(4) Water-cooled ceramic block sheet diameter: φ390
1985 vintage.
KYOTSU-SEIKI Y-1000ウェーハ研削、ラッピング&ポリッシングシステムは、平面および非平面ウェーハ表面の製造における精度と再現性のために設計された完全に自動化された高性能ソリューションです。このシステムは、シリコン、ゲルマニウム、ガリウムヒ素、リン化インジウム、サファイア、およびその他の電気光学材料などの幅広い半導体材料の研削、研磨、ラッピングが可能です。Y-1000は、さまざまなアプリケーションやウェーハ構成に最適化された包括的なプロセスオプションを提供します。バックグラインドプロセスは、ウェーハ層間の強力な接着を可能にする高度な機械加工のような仕上げを実現するように設計されています。ラッピングプロセスは、サブ0。2 μ mの表面仕上げを達成するためのものであり、ダイヤモンド研磨プロセスは1nm以下の表面仕上げを達成するのに理想的です。ウェーハは精密加工用の光学マイクロレジストレーションピンを搭載しています。高度な可動式ウェーハハンドラは、ローディングとアンロードのプロセスを自動化します。KYOTSU-SEIKI Y-1000は、完全に密閉された操作室を備えており、ほこりの排出を最小限に抑えるように設計されています。赤外線ガス供給システムは、排ガス温度800°C以下で単一及び両面処理を行うために利用可能です。Y-1000は、32ビットRISCプロセッサを使用して制御し、高感度のロードセンサーを使用して正確な圧力制御を行います。プロセスパラメータ入力用の7インチタッチディスプレイが付属しています。プロセスパラメータオプションの配列により、お客様のニーズやプロセスを細かく調整できます。KYOTSU-SEIKI Y-1000は、CEおよびRoHS規格に準拠し、クラス最高の保証とサービスサポートを備えています。また、資源の効率的な使用と環境への影響Y-1000最小限に抑えるために設計されているため、厳しいサステナビリティ要件を満たしています。
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