中古 KURODA GS-52PF #293604978 を販売中

KURODA GS-52PFは、FOUP規格のシリコン基板とガリウム-ヒ化物基板に特大・薄型ウェーハを仕上げ加工するウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、最大4つの主要な研削および研磨ヘッドを備えた高精度の研削および研磨ユニットで構成されています。ユニットの主な利点は、柔軟な多方向回転機能であり、最も複雑で不規則な形状の部品でも研削、ラッピング、研磨が可能です。この機械は、ダイヤモンドコーティング研磨剤を備えた回転表面研削ホイールを使用して、ウェーハ上の余分な材料と凹凸のある表面を除去します。オープンキャストアルミグラインドホイールは、回転可能なベースに取り付けられ、スイングアームと角度制御により微細な位置制御を提供します。研削ホイールのストロークと速度は、所望の精度と表面仕上げを達成するために調整可能です。ラッピングプロセスは、回転可能なベースに取り付けられた特別に設計されたラッピングプレートを使用し、機械的および静電的な力の組み合わせを使用して、滑らかで平らな表面を徹底的に研磨して再表示します。プレートは高速モータによって駆動され、ナノメートルの公差に位置決めと表面仕上げを可能にします。ラッピングプレートに続いて研磨ユニットが取り付けられ、回転可能なベースに取り付けられ、超微細なダイヤモンド摩耗を使用して表面粗さを低減します。GS-52PFは表面の終わり、サイズの正確さおよび物質的な取り外しの効率の点ですばらしい結果を提供します。最大8インチ（200mm）のシリコン、サファイア、ガリウムヒ素など、幅広い素材や部品を仕上げるために使用できます。これにより、ハイエンドの製造アプリケーションや、消費者と企業の両方の研究室での使用に最適です。KURODA GS-52PFの先進的な技術と設計は、低所有コストを提供し、ツールは長期的で信頼性の高いパフォーマンスを提供します。メンテナンスニーズを最小限に抑え、使いやすく直感的な操作で簡単に操作できます。さらに、その高い生産性レベルは、ダウンタイムを削減し、プロセス効率を向上させるのに役立ちます。