中古 KO LEE S714H #9137727 を販売中

ID: 9137727
Edger.
KO LEE S714Hは、低中量生産用に設計された精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、ハイテク処理で達成可能な最高品質と再現性を提供します。S714Hは、2ピースステンレス製の真空テーブルと2つの精密ヘッドを備えており、さまざまなウエハサイズに対応しています。テーブルは、連続的に変化する研削およびラッピングプレーンのオフセットで、さまざまなアプリケーションに対応するために簡単に調整できます。このユニットの制御とソフトウェアは、最大直径6までの非常に広い範囲のウェーハサイズを可能にします。KO LEE S714Hを使用したグラインドとラップダイヤモンドツールは最高品質です。これらの特別なツールは、特定のアプリケーションに最適な最高レベルのプロセス再現性を確保するために、小さなダイヤモンド粒子で設計されています。ダイヤモンド工具は、基板の汚染を最小限に抑え、表面粗さを最小限に抑えるためにテストおよび設計されています。また、熱膨張係数が低く、S714H使用時の信頼性に優れた工具も設計されています。研削工具とラッピングツールは、特許取得済みのツールインプレースローディングプロセスを使用して研削ヘッドにプリロードすることができます。このプロセスにより、研削およびラッピングサイクル中にダイヤモンド研磨材がウェーハと正確に整列したままになり、基板の不完全さを自動的に補償します。KO LEE S714Hは、繰り返し可能で一貫したプロセスパラメータを確保するために、セルフインデックスツールローディングマシンを備えています。研削とラッピングサイクルは、強力なオンボードマイクロプロセッサによって制御されます。このマイクロプロセッサは、プロセスサイクル全体でウェーハの速度とツールの回転速度を監視します。設定は、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイス上のボタンのタッチで簡単に微調整または変更することができます。S714Hは直径6"まであらゆるウエハ区域をカバーできる超応答性の磨く頭部が装備されています。この機能には、ウェーハのあらゆる欠陥に自分自身を形成し、ウェーハ表面に均一な研磨をもたらすフローティングと補償作業ヘッドが含まれています。磨く頭部の高い応答性はあらゆるウエハおよびあらゆる磨く周期の優秀な結果を保障します。KO LEE S714Hは、低中量生産アプリケーションで最高精度のプロセスを提供するように設計されたエンジニアリングの驚異です。この高性能なマシンは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨のための信頼性と費用対効果の高いソリューションです。一貫した結果を提供し、可能な限り最高の結果を提供します。
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