中古 KELLENBERGER 600 U-125 #9217940 を販売中
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ID: 9217940
ヴィンテージ: 1978
Cylindrical grinding machine
Distance between centers: 600 mm
Centers height: 125 mm
Maximum parts diameter: 249 mm
Table orientation: 11°
Universal grinding wheel holder head stock
Left grinding wheel size: 400 x 50 x 127 mm
Right grinding wheel size: 225 x 20 x 76.2 mm
Grinding wheel motor power: 3 kW
Grinding wheel holder speeds: 1500 / 1700 / 2200 RPM
Grinding wheel holder orientation: 270°
Part holder headstock orientation: 360°
Part holder spindle speed: 5-500 RPM
Inside taper part holder spindle: SA50
Motor power: 2.4 kW
Counter headstock inside taper: Morse 3
Counter headstock sleeve travel: 30 mm
Cooling tank
Diamond grinding device
Clamping device chuck (3) Jaws
Clamping device magnetic chuck
Internal grinding spindle
1978 vintage.
KELLENBERGER 600 U-125は、半導体ウェーハの研削、ラッピング、研磨のための高度なマルチステップ装置です。600 U-125システムは、高精度、高効率、優れた表面平滑性などの重要な利点を提供します。このユニットには、さまざまな半導体ウェーハプロセス用の精密工具が豊富に装備されています。KELLENBERGER 600 U-125は、制御可能な研削およびラッピングプロセスを提供し、材料除去率を最適に制御するための条件を作成します。このマシンはまた、高度な冷却機能と強力な切削工具の範囲を提供しています。この工具の研削ステージは、ダイレクトドライブモータによって駆動される超精密研削スピンドルを使用しており、制御と精度を向上させます。これは、縦方向または横方向の動きが可能な7-Head全方向スピンドルを備えており、さまざまなタイプの半研磨部品を容易かつ優れた表面仕上げで処理できます。このアセットはまた、あらゆる形状のウエハの超精密な研削とラッピングのための高性能な研削ヘッドを誇っています。このモデルには、より大きな調整と制御が可能な堅牢で高精度なミリングスピンドルも含まれています。信頼性が高く効率的なラッピングおよび研磨作業のために、600 U-125はさまざまな高度な機能を提供します。ユニークなラッピングツールが付属しており、スラリーの迅速な導入と部品表面からの除去を可能にします。この装置には、研削圧力と速度を正確に制御できる高度な性能のマイクロメトリックフィードも含まれています。高精度のdi軸調整可能なラッピングシステムにより、ラッピングプロセスを高度に制御できます。KELLENBERGER 600 U-125の冷却ユニットは、圧縮空気を使用して静熱蓄積を排除し、熱管理を改善し、ウェハ研削およびラッピング工程中に放出される汚染物質の量を削減します。このマシンは、プロセス工程ごとに正確な冷却のために独自の冷却プレナムを使用しています。冷却プレナムは、研削およびラッピング工程中に方向冷却を提供するように設計されており、プロセス中に放出される熱および塵の量を制限します。正確で反復可能な表面仕上げを保証するために、600 U-125ツールには、研削およびラッピングプロセスを制御するための高度な圧力制御アセットが含まれています。このモデルには、正確な測定のための光学および帝国マイクロメータも含まれています。また、機械から正確な部品配置と検索を可能にする高度な自動ウェーハ処理装置も含まれています。KELLENBERGER 600 U-125は、高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨システムで、高精度で優れた表面仕上げのためのさまざまな重要な機能を備えています。このユニットの特徴は、優れた表面仕上げと環境負荷の大幅な低減を可能にし、半導体ウェーハの製造作業に最適です。
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