中古 KARSTENS K62 #9066959 を販売中
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KARSTENS K62は、半導体業界のウェーハ、基板、その他の部品の加工に使用されるウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。0。2nm Raの表面仕上げを実現できる、高度に自動化された高精度加工システムです。ロボットハンドリングユニットを内蔵しており、作業負荷を自動化し、さまざまな材料を迅速かつ効率的に処理できます。マシンは、剛性と精度を向上させるために、単一のプラットフォームに取り付けられた2つの部品、機械とマニピュレーターで構成されています。機械はPLCによって制御され、2部から成っています、紡錘および磨くテーブル。スピンドルには高精度のエンコーダを搭載し、研削工程を正確に配置して実行します。研磨テーブルは、多数の溝のある布ラップで構成され、均一な研磨を可能にするために一定の速度で回転します。真空工具を使用して、加工中にウェーハを所定の位置に保持します。マニピュレータはコンピュータ制御のロボットアームで、機械加工のための部品を選択して配置するために使用されます。6軸関節アームと、ウェーハの位置と向きを検出できる統合ビジョンアセットで構成されています。このモデルは、コンポーネントの非常に正確な高速処理を可能にし、手動プロセスに関連する任意のヒューマンエラーを除去します。K62は、お客様の既存システムと完全に統合されるように設計されており、効率的かつ正確なプロセスを確保するための多くの機能を提供しています。これらの機能には、デジタルプロセス監視装置、高度なプロセス制御システム、オンラインプロセス制御ソフトウェアが含まれます。このユニットは、最高レベルのオートメーション、精度、信頼性を提供し、ユーザーが高精度で一貫した結果を出すことができます。
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