中古 KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5L #293638088 を販売中

ID: 293638088
Double sided lapper / grinder Maximum diameter: 200 mm Minimum thickness: 0.15 mm Maximum thickness: 70 mm Speed of lower plate: 0-60 RPM (5) Clamping apparatus Driving motor: 6.75 kw Slurry motor: 0.4 kw Air pressure: 6kg/cm² Power supply: 220 V.
花王精密機械KYL-9B-5Lウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、さまざまな用途に適した部品の正確な形状と仕上げを実現します。このシステムは、研削、ラッピング、研磨技術を組み合わせて、シリコンおよび複合半導体ウェーハ、フラット部品、セラミック基板を加工します。KYL-9B-5Lは、両面処理用に特別に設計されており、現場でのツール監視と制御機能を自動化しています。KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5Lは、ウェハの角度変位と速度を正確に制御できるPLC制御メインドライブモータを備えています。また、リニアスライドユニットを高精度に交換することで、ウェハの全長を効果的かつ正確に横切ることができます。KYL-9B-5Lはまた精密なエンドエフェクターの位置および負荷処理のためのサーボ駆動のプラットホームを含んでいます、精密な力/トルク制御を可能にします。また、精密なウェーハ研削には回転ダイヤモンド研磨砥石を使用しています。研削ヘッドには、電動ウェハ回転機構も備えており、ウェハの回転角度と速度を正確に制御できます。KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5Lには、最適な研削、ラッピング、研磨性能を保証するためにカスタマイズされた周波数インバータとPLCも含まれています。KYL-9B-5Lのラッピングステーションには、ラッピングプレートの正確な反復可能な動きを保証する高度なサーボ駆動テーブルツールが装備されています。この精密な動作により、ラッピングプレートがウェーハ表面に均一に接触することも保証します。KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5Lの研磨ステーションは、180°の動作範囲の精密なリニアスライドアセットを使用しており、研磨性能に優れています。KYL-9B-5Lは顧客の精密な条件に従って設計され、究極の多様性および柔軟性を提供します。KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5Lは、最大160,000rpmのスピンドル速度が可能なだけでなく、特定のアプリケーションの要件に合わせて調整できる幅広いプロセスパラメータを備えています。自動化された現場での監視と制御プロセス全体を通じて、一貫した品質管理を実現します。さらに、電子ビームKYL-9B-5Lリソグラフィ、エッチング、化学機械平面化(CMP)など、後処理のためのいくつかのオプションも提供しています。これらの後処理オプションに加えて、KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5Lには、さまざまなデータ収集および評価ソフトウェアが含まれており、既存のプロセス制御システムと容易に統合できます。全体的に、KYL-9B-5Lウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルは、幅広い用途で最高品質の完成品を生産することができる高度で精密なツールです。高度なサーボ駆動、精密なリニアスライド装置、カスタマイズ可能なプロセスパラメータにより、花王YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5Lは、研究、産業、計測の目的にかかわらず、最適な性能と一貫した結果を保証します。
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