中古 JEOL SM-09010 #9243608 を販売中

JEOL SM-09010は、精密微細加工のための優れた性能と信頼性を提供するウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。4「から12」までの範囲で、さまざまなウエハサイズに対応するように設計されています。クローズドループモーションコントロールで構築され、自動圧力制御ユニットで動作します。これにより、研削、ラッピング、研磨中にすべての部品の一貫性のある圧力が保証されます。JEOL SM 09010システムの研削ステージは、提供された研磨ホイール上で行われ、全身ダイヤモンド研削ユニットにしっかりと均等に取り付けられるウエハークランプが付いています。可変速度の回転、調節可能な粉砕圧力、および調節可能な車輪の傾斜のような特徴は最もよい粉砕の状態を保障します。この段階はまた粒子の放出および揮発性有機化合物を最小にするように設計され、きれいな粉砕の環境を保障します。ラッピングステージは、ダイヤモンドパッドと調整可能なガントリーを使用して、一貫した滑らかな表面仕上げを実現します。また、クローズドループ位置制御機を備えており、高精度、再現性、精度を保証します。工具の研磨段階は、クリーンな作業環境を維持しながら最高の結果を達成するために、水系ダイヤモンドスラリーを使用しています。SM-09010資産には、研削深さ、表面仕上げ、粒度などの情報を含むデータロギングおよび分析機能も備えています。また、使いやすく、メンテナンスが容易なように設計されており、ユーザーフレンドリーなインターフェイスとコンポーネントに簡単にアクセスできるモジュール構造を備えています。全体的に、SM 09010は優れた性能を提供する信頼性と汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルです。それに調節可能で、反復可能な粉砕、ラッピングおよび磨く機能があり、データロギングおよび分析を特色にします。この装置は精密微細加工用に設計されており、環境への影響を最小限に抑える機能を備えています。