中古 JEOL SM-09010 #293638040 を販売中

JEOL SM-09010は、ウェーハ上に滑らかで高品質な表面を生成するように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、精密スピンドル設計を採用し、研削および研磨の両用途に優れた精度と表面仕上げを提供します。モータ駆動のスピンドルマシンを採用し、研削・研磨工程の高度な制御・自動化を実現しています。このツールは、厚さ1 µm以上の材料層を粉砕することができ、平均0。3〜0.7µm RMSのウェーハ表面粗さを生成することができます。スピンドルには、ウェーハの精密位置決めを容易にし、研削、ラッピング、研磨プロセスを最適化するための制御アセットが装備されています。スピンドルはまた、最適な表面仕上げを実現するために圧力センサモデルを備えています。スピンドルはブラシレスモーターで駆動され、静かな動作と優れた再現性と精度を実現します。装置は各プロセスのための2つの粉砕ディスクを使用します。研削とラッピングのための1つ、研磨のためのもう1つ。各ディスクは、基板への損傷を最小限に抑え、一貫した高い表面仕上げを実現するように設計されています。ディスクは、研削と研磨工程で均一性を可能にするためのステップ設計を備えています。このシステムには、研削、ラッピング、研磨プロセスの前後にウェーハの転送を自動化するための真空ピックアップシャトルも含まれています。真空シャトルはまた、ラウンド、長方形、および「スロットチップフォーム」ウェーハを含むさまざまなウエハータイプを拾うことができます。このユニットにはさらに、熱誘発の欠陥の形成を防ぐために液体冷却機が装備されています。全体的に、JEOL SM 09010は、高品質のウェーハを製造するための強力で信頼性が高く、正確な研削、ラッピング、研磨ツールを提供します。自動化された機能と高精度スピンドルにより、基板への損傷を最小限に抑えながら、優れた表面仕上げを一貫して行うことができます。