中古 JEOL IB-09010CP #293766541 を販売中

JEOL IB-09010CPは、精密ウェーハの工業生産用に設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。シリコン、SiC、 GaAs、サファイア、その他の結晶材料を含む幅広い基板に対し、高いスループット、高精度、高品質を実現します。このシステムは、ウェーハが最初に接地され、次にラップされて磨かれる2段階のプロセスを利用します。このユニットは、最大5µmの作業精度で、直径8インチまでのウェーハを研削することができます。この機械には、高速研削工具、高精度の研削台、および空気軸受および導電性サブシステムが含まれています。このグラインダーには、高い電力効率と長寿命で知られる可変速度DCモーターが装備されています。研削テーブルは、精密ウェーハアライメント用に設計されており、マニュアルアクチュエータ、アクティブインダクティブ高さ卒業センサ、およびスムーズで効率的な操作のためのクローズドループ空気軸受を備えています。ウェハラッピングと研磨プロセスは、最大7500 rpmで動作する高速ダイレクトドライブスピンドルモータを使用しています。ウェーハの迅速な積み降ろしを可能にする2ピースラッププレート設計を採用し、加工される特定の材料に合わせたダイヤモンド研磨粉末を備えています。研磨プロセスは完全に自動化されており、効率的な操作と監視のためのグラフィカルユーザーインターフェイスを備えた高度なPLC制御ツールを使用しています。このアセットには、イオン液体を使用してウェーハ研削、ラッピング、研磨装置の内外から研磨材やその他の汚染物質を迅速かつ効果的に除去する自動クリーンインプレースモデルも含まれています。これにより、システムはほこりや破片のない状態に保たれ、長期的に最適な性能を発揮します。全体的に、JEOL IB-09010 CPは信頼性と汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットであり、短納期で高精度、高品質の結果を得ることができます。様々な材料や基板に適しており、高精度ウェーハ製造のための高度なシステムをコスト効率よく効率的に製造する手段を提供します。