中古 JEOL EM 09100 IS #9380743 を販売中

JEOL EM 09100 ISは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨作業を行うために設計された多機能機器です。このシステムは床に立つキャビネットに収容されますが、また顧客によって提供される発煙のフードか真空/ガスのキャビネットと統合することができます。単位は3つの別の部品から成っています：粉砕、ラッピングおよび磨く段階。機械の粉砕段階は磨くプロセスのためにそれを準備するためにウェーハ材料の荒い機械化を提供するのに使用されています。これを実現するために、このツールは高精度のステッピングモータによって駆動される永久磁気チャックテーブルを使用しています。研削砥石はテーブルの表面上に配置され、独立した高トルクDCモータによって駆動されます。この車輪は一貫した切口および磨く率を保障するために酸化アルミニウム研摩材料からなされます。ラッピングステージは、ウェーハ素材の表面を研削後に精製するために使用されます。このプロセスでは、スラリーディスペンサーを使用して、研磨液で材料の表面を濡らし、表面を滑らかにして研磨する潤滑剤として機能します。ラッピングテーブルは、回転プラテン、固定プラテン、および2つの研磨ディスクで構成されています。ウェーハ材料は回転板と固定板の間に配置され、スラリー溶液は材料の表面に分配されます。このラッピング工程は、ウェーハ材料の表面に残るアスペリティを低減し、より滑らかで一貫性のあるものにするのに役立ちます。研磨段階は、アセットのウェーハ加工プロセスの最終段階であり、マイクロスケール仕上げの表面を生成するために使用されます。このプロセスでは、ダイヤモンドコーティングされたパッドを使用して、ウェーハ材料に非常に正確な仕上げを施します。表面にスラリー溶液を絶えず塗布し、一貫性のある研磨を実現します。得られた表面は光学的に平らであり、傷やその他の欠陥から解放されます。全体的に、EM 09100 ISは、1つのフロアスタンディングキャビネットに3段階のウェーハ加工（研削、ラッピング、研磨）を組み合わせる先進モデルです。精密な材料加工に加えて、自動スラリーディスペンサーや精密ステッピングモーター制御など、さまざまな機能も備えています。このシステムは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨において、再現性、正確性、高品質の結果を達成するのに最適です。