中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9382965 を販売中

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472は、高度な半導体デバイス製造用に設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。最大4枚の12インチウエハを同時に処理することが可能で、優れた断面形状を持つ極めて平坦な表面を実現します。IPEC Avanti 472は、最も要求の厳しい生産環境でも信頼性の高い性能のために、最高品質の材料から構築された頑丈な構造とコンポーネントを備えています。WESTECH Avanti 472は、表面ゴールドキャップの成長フェーズとウエハディスク表面との完全な平行性を提供するように設計されており、より迅速かつ正確な研磨を可能にします。このユニットは、一定の流れと研磨挙動を維持しながら、より長持ちする研磨を作成するスラリーフローマシンを使用しています。調整可能な設定とダイレクトドライブモーターを使用することで、完璧な仕上がりを実現します。Avanti 472のラッピングプロセスは自動化され、4段階の研削ツールを使用して再現性を確保し、チップ間の全体的な変動を低減します。このアセットは、マルチレベルのフィードバック制御機構を備えており、最適なパフォーマンスを得るためのプロセスパラメータの微調整を可能にします。最上位の光学モデルにより、パーティクルサイズ分析が可能になり、特定のサイズ、形状、表面仕上げ、および均一性の要件を満たすために機器をチューニングできます。このシステムはまた、ユニークで革新的な研磨方法を備えており、ウェーハ表面の破片を除去するのに役立ちます。ウェーハキャリアとダブルディスクポリッシングヘッドを備え、ウェーハ表面に均一な圧力分布を提供します。ダブルディスクポリッシングヘッドは、ウェハに一貫した仕上げを提供するのにも役立ちます。SPEEDFAM Avanti 472は、ノイズや振動レベルを最小限に抑えながら、非常に効率的で信頼性の高い性能を提供するブラシレスサーボ制御モータを搭載しています。また、空気や遮音、振動防止、自動シャットオフ、自動熱保護など、さまざまな安全機能を備えています。これにより、安全で正確な操作が保証されます。IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472は、先進的な半導体デバイス製造用に設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールです。精密研削・研磨加工が可能で、優れた再現性と一貫した結果を提供します。アセット独自の機能と高度な制御メカニズムにより、正確で一貫した安全な処理が可能です。