中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9292695 を販売中

IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472
ID: 9292695
ウェーハサイズ: 8"
CMP Polishers, 8" (2) Platens.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、半導体ウェーハ製造の生産性を向上させる効率的で効果的なソリューションです。IPEC Avanti 472は、独自の研削、ラッピング、研磨技術により、精度を向上させた半導体ウェーハを効率的に加工するさまざまな研削、ラッピング、研磨技術を提供しています。このシステムは、自動化と信頼性を最大限に高めるために設計されており、1回の作業で自動ローディングとアンローディングユニットを備えています。WESTECH Avanti 472は、4ステーション研削、ラッピング、研磨機で、6ステッププロセスで動作します。最初のステップでは、キャリアウエハがフロントステーションから研削ステーションに輸送されるキャリアディスクにロードされます。研削ステーションは、精密ダイヤモンド研削ホイールとダイヤモンド研削粒子を使用した最先端の研磨加工技術を採用し、ウェーハの均一な研削とラッピングを実現しています。研削工程の後、ウェハは第2ステーションの研磨ステーションに移されます。研磨ステーションは、摩耗、機械的および化学化学的プロセスを特徴とする高度な研磨技術を使用して、ウェーハの表面を研磨し、平面化します。ラッピングと研磨工程では、ウェーハに化学酵素を塗布し、均一で滑らかな表面を作り出します。SPEEDFAM Avanti 472は、3番目のステーションを検査およびクリーニングステーションに使用します。このステーションは、検査ツールを使用してウェーハの裏側に潜在的な欠陥を検査します。クリーニングステーションは、高度な化学薬品と真空技術を使用して、ウェーハの内面を徹底的に洗浄します。4番目と最後のステーションは、完全な分析を行い、ウェーハ表面仕上げを特徴付けるウェーハ検査と品質管理ステーションです。Avanti 472は、包括的な6ステップ処理プロトコルを通じて高品質の結果を提供する高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨資産です。このモデルは、信頼性と自動化を強化するために設計されており、自動ローディングおよびアンロード装置を備えています。IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472は、精度と再現性を向上させて望ましい結果を効果的かつ効率的に生成し、半導体ウェーハの生産においてスループットと高品質を必要とする半導体ウェーハメーカーに最適です。
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