中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9259787 を販売中

ID: 9259787
ウェーハサイズ: 8”
ヴィンテージ: 1996
CMP System, 8” Steady sweep conditioner 1996 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472は、ラッピングと研磨技術の最新技術を取り入れたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。4ヘッド回転駆動と赤外線センサーユニットを備えた全自動システムで、均一な研削、ラッピング、研磨が可能です。最新のダイヤモンドカップホイールと研磨ベルトを採用し、平面および3Dウェハの精密加工が可能です。このツールは、最大直径6インチの4つのウェーハをそれぞれ処理するように設計されており、半導体用の基板から光学部品まで、さまざまな材料に対応できます。アセット全体には、高度なポリッシングヘッドが装備されており、正確な変形のために処理中にウェーハの中央平面位置を見つけて維持します。これは、ポリッシングヘッドの平面上にウェーハを配置する強力で高精度なポリッシングヘッドインデックスによって達成されます。超滑らかな表面仕上げが可能で、反復粗度は最大20ナノメートルです。さらに、高濃度の汚染物質を含む一貫した正確な均一なグリッドでウェハを処理することができます。この装置には、トラブルのない操作を保証する統合安全システムが装備されており、ツールレス研磨ベルトとダイヤモンドカップホイール交換が含まれています。負荷監視は、オペレータが最適な負荷とプロセス品質を維持するのに役立ちますが、汚染洗浄ユニットは汚染の蓄積を防ぎます。このマシンには強力な画像解析ツールも含まれており、ユーザーは資産パフォーマンスをリアルタイムで監視することができます。また、CCDカメラを使用して研削・研磨工程全体のワーク品質を検査することができ、欠陥検出・補正が可能です。操作中に画像およびプロセスパラメータを記録し、後で検査および報告することもできます。全体として、IPEC Avanti 472は強力で信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルであり、高精度で再現性のある加工精密ウェーハを容易にします。自動化された制御装置は、安全で信頼性の高い動作を保証し、セットアップ時間を最小限に抑えます。その優れた性能と先端技術により、半導体および光学産業における精密部品の製造に最適なソリューションです。
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