中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9259193 を販売中

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ID: 9259193
ヴィンテージ: 1997
CMP System 1997 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472は、半導体ウェーハ製造アプリケーションで使用するために設計されたウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。このシステムは、ほとんどのマイナーなディッシュと側面の平坦性で非常に均一な表面仕上げを達成することができます。このユニットはまた、加工作業のためのさまざまな基板や材料をサポートすることができます。機械は3つの主要な部品から成っています:静電気のチャック、磨くテーブルおよびモーターを備えられた回転式テーブル。静電気チャックは、2段階の加熱温度を備えており、最大8インチの直径基板を受け入れるように調整できます。磨くテーブルは上塗を施してある、防蝕アルミニウムからなされ、最高のrpmおよび終わりの質のための調節可能な速度制御があります。最後に、電動ロータリーテーブルを使用すると、最大16インチのウェハを加工して保存できます。このテーブルには、手動操作よりも一貫性のある最適化と結果を提供するラッピングと研磨のための可変速度もあります。さらに、このツールには、温度コントローラ、真空チャック、フォースゲージ、タイミングアセットなどの多数のアクセサリを取り付けることもできます。温度調節器は、所望の温度が処理全体にわたって維持されることを保証します。バキュームチャックは、研磨およびラッピング作業中にウェーハを確実に所定の位置に保持するために利用可能です。フォースゲージは、ウェーハに印加された下向きの圧力を監視するために使用され、作業全体にわたって一貫した研磨力を確保します。最後に、統合されたタイミングモデルは正確な開始/停止間隔を提供し、精密な磨く操作を可能にします。全体として、IPEC Avanti 472は、半導体ウェーハ製造アプリケーションで使用するために設計された包括的で自動化されたウェーハ研削、ラッピングおよび研磨装置です。このシステムは精密で再現性が高く効率的な研磨作業を提供し、半導体およびマイクロエレクトロニクス業界にとって理想的な選択肢となります。
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