中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9220761 を販売中

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、高度な半導体および集積回路製造システムです。ウエハレベルでの基板研削・研磨に特化しています。このユニットは、直径8インチ、厚さ5ミリメートルまでの単一および複数の大型ウェハを研磨および研磨することができます。ウェット、ドライ、レーザーエッチングなど、特許取得済みの研磨および研磨技術を使用しています。Avantiのメインユニットは、2つの独立した同期トラベルスピンドルと油圧駆動機で構成されています。スピンドルにより、複数のウエハを同時に研磨・研磨できます。スピンドルは、サーボ駆動工具を介して基板の送り速度と回転速度を個別に制御します。粉砕および磨くアダプターはキャビネットの基盤から取り外し可能で、他の磨く頭部と必要に応じて取り替えることができます。Avantiには、研削ゾーン、研磨ゾーン、クリーニングゾーンの3つの異なる作業ゾーンがあります。研削ゾーンでは、ウェハは大きな粒子研磨粒子で始まり、軸を下に移動するにつれて粒度が低下します。研磨ゾーンは、ダイヤモンド、CMP、添加剤など、さまざまな研磨技術を利用しています。クリーニングゾーンは資産の最後のゾーンであり、プロセス破片の除去のために純水を利用しています。このモデルには、いくつかのプロセス制御オプションも装備されています。このプロセス制御には、スピンドル速度、自動圧力制御、および自動流体最適化をプログラムする機能が含まれます。また、動作中に使用されるクーラントの流量と圧力を監視するクーラント監視装置も備えています。また、スピンドルによる発熱を低減するための専用温度制御ユニットを搭載しています。IPEC Avanti 472マシンはコンパクトで使いやすいです。このツールは、信頼性と正確性を提供するために設計されています。また、高度にカスタマイズ可能なため、ユーザーは特定のプロセス要件に合わせて操作を調整できます。耐久性、安全性、柔軟性のおかげで、WESTECH Avanti 472ウェーハ研削、ラッピング&研磨アセットは、あらゆる半導体または集積回路製造プロセスに最適です。