中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9188602 を販売中

IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472
ID: 9188602
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2003
CMP polisher, 8" 2003 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472は、精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。具体的には、生産アプリケーションの特定の要求を満たすように設計されており、非常に高品質のエッチングおよび平面化されたウェハを製造することができます。IPEC Avanti 472には4つの異なるラッピング操作が装備されており、さまざまなウェーハ処理ニーズに対応した多彩な汎用性を提供します。研磨スラリーは、必要な研磨および研磨作用を提供するためにユニットを介して循環されます。研磨粒子は30ミクロンから5ミクロンの大きさまで変化し、完成したウェーハの精度と均一な仕上がりを実現します。WESTECH Avanti 472システムは、片面と両面の両方を研削することができます。ウエハだけでなく、基板や金型などの小さな部品の研削、ラッピング、研磨にも使用できます。この汎用性により、大量のウェーハの処理効率を最大限に高めます。研磨プロセスは2段階で達成されます。まず、酸化ケイ素サスペンションを使用して、ウェーハに均一で均一な仕上がりを提供します。その後、高度な炭化タングステンまたはダイヤモンド研磨サスペンションが研磨に利用されます。このステップにより、非常に鮮やかで欠陥のないウェーハ表面が得られます。研磨プロセスに加えて、Avanti 472は洗浄、エッチング、およびフィルム成膜にも使用できます。この機械は、オンボードケミカルフィルトレーションおよび化学混合システムを使用して、隣接するコンポーネントまたはウェーハの偶発的な汚染を防ぐように設計されています。SPEEDFAM Avanti 472は、生産出力を最大化するために単独で使用するか、他の生産プロセスと統合することができます。最大300mmまでのウエハ加工が可能で、最も要求の厳しい生産要件を満たすように設計されています。全体として、IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472は、精密なウェーハ研削、ラッピング、研磨を提供する非常に汎用性と信頼性の高いツールです。ウェーハに均一で欠陥のない仕上げを提供し、精密生産アプリケーションに最適です。
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