中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9182620 を販売中

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472は生産および実験室の適用のために設計されている精密ウェーハの粉砕、ラッピングおよび磨く装置です。最大450mmのウェーハを特定の平坦度と分解能まで研削し、0.5µmまでのアグレッシブな粒子を除去することができます。このユニットは、完全に独立した研削および研磨部品を備えており、並列研削および研磨作業を可能にします。高解像度のリニアドライブとデジタルサーボ制御により、優れた研削精度と再現性を実現します。研削工具は、最大30rpmから360rpmまでの速度で駆動され、ピーク力は700 N/cm2、総力は14kNです。IPEC Avanti 472は、研削部品用の4軸リニアドライブマシンと、ラッピング/研磨部品用の独立したリニアドライブツールを備えています。ドライブ資産は、両方のコンポーネントに非常に滑らかで信頼性の高い動作を提供します。研削部品は、1 1µm mの再現性を持つμのプログラム可能な分解能でx、 y、およびz方向に移動することができます。ラッピング/研磨部品は、0。1 μ mの再現性を持つ0。001 μ mの分解能でxおよびy方向に移動することができます。ラッピング/研磨部品は、静水圧ベアリングアセンブリのペアを使用してプラテンを正確に移動させ、たわみを最小限に抑え、同時に熱性能を向上させます。プラテンは、最大30kNの力を発揮できる強力なサーボモデルによって駆動されます。プラテンは、片面、両面、ハイブリッドなど、さまざまなサスペンションシステムで使用できます。WESTECH Avanti 472は、タッチスクリーンインターフェイスを備えた最新のマルチメディアPCを使用しており、機器のプログラミングと制御に使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスをユーザーに提供します。このシステムには、高度なデータ収集および可視化ツールも含まれており、ユーザーはプロセスをリアルタイムで監視および分析することができます。単位はそれぞれ50までの変数を含む25までの調理法を貯えることができます。全体的に、Avanti 472は完璧な結果を生み出すように設計された高度な精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。このツールには、最適化されたパフォーマンスと再現可能な精度を可能にする多くの冗長機能が含まれています。この資産は、高度なPCベースのソフトウェアによって支えられており、簡単に調整可能な設定とリアルタイムプロセスの監視と分析を可能にします。