中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9109476 を販売中

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472は、最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。これは、機械の垂直セクションに取り付けられたコンピュータ制御の回転テーブルで構成され、研磨工具が配置されています。テーブルは両方向に回転することができ、1°単位で回転することができます。研磨アームには4つのクランプアームがあり、ウェーハの形状やサイズに応じて、それぞれ3つの研磨ツールを保持することができます。セルフセンタリングチャックを特長とする精密研削工具は、高速かつ正確な薄型ウェハ研削を可能にし、高スループットを実現します。ラッピングアームは手動制御と自動制御の両方が可能です。これにより、オペレータを必要とせずにラッピングプロセスを正確に制御できます。研磨アームはABM Futuristic Systemと一体化されており、スピンドレスラッピングアプリケーション用の往復プラテンアームを備えた研磨ロボットを搭載しています。ロータリーテーブルは、ダイヤモンドホイールを使用した研磨用の6定速モータに接続されています。また、スピンドルヘッド内蔵マシンビジョンユニットを搭載し、ウェハ表面品質の測定が可能です。IPEC Avanti 472は、振動を低減するための空気圧ダンパーも備えています。振動隔離されたベースデザインで設計されており、騒音を最小限に抑え、安全性と快適性を高めています。また、洗浄性を向上させ、廃棄物の発生を低減するインライン界面活性剤を搭載しています。統合されたラッピングコントロールツールにより、より精密なラッピングプロセスが可能になります。WESTECH Avanti 472には、ラッピングおよび研磨用途のための湿式材料を乾燥させる2段階の抵抗加熱アセットも装備されています。また、研磨走行中にモデルを通して冷却水を循環させるチラーを備えており、過熱のリスクを低減し、ウェハの構造的整合性を向上させます。さらに、Avanti 472は、緊急時に電源をオフに切り替える非常遮断付きの安全エンクロージャを備えた完全に囲まれたキャビネットを備えています。ユーザーフレンドリーなタッチパネルインターフェイスには、操作と監視を容易にするためのヒューマンマシンインターフェースと、研磨および研削プロセスに関連するすべてのデータをキャプチャするデータ収集装置が含まれています。全体として、SPEEDFAM Avanti 472は、高度で信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨システムで、高精度のウェーハを効率的に生産するために設計されています。それはすべてのプロセスで信頼性の高い性能と高精度を提供します。