中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #60082 を販売中

ID: 60082
ウェーハサイズ: 4"-8"
Chemical Mechanical Polisher (CMP), 4"-8" Automatic loading / Unloading DI Water: Peak flow: 12 GPM (45.4 l/min) Average flow: 6 GPM (22.7 l/min) Pressure: 25 - 30 PSI Chilled water: Peak flow: 5 GPM (18.9 l/min) Compressed air: Peak flow: 6 SCFM (170 SLM) Nitrogen: Peak flow: 10 SCFM (283 SLM) Power supply: 208-380 V, 460 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472は、最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。472は、半導体基板に使用するために特別に設計されており、優れた研削、ラッピング、研磨機能を提供します。472は、Avantiシリーズの最新バージョンであり、最も近代的なウェーハ研削および研磨技術を提供しています。IPEC Avanti 472は、調節可能なデュアルアームガントリーで構成され、ツインスピンドル研削、ラッピング、研磨システムを内蔵しています。472は、直径40mmのプラッタと200mmのテーブルを備え、ウェーハ表面にミクロンの精度を維持しながら、精密な材料除去と平面化を提供します。複数のプラッターを同時に使用してスループットを向上させることができ、ガントリーの特許取得済みのPlanetary Motionは垂直分離機能を向上させ、優れた品質の仕上げを提供します。472は、より迅速な統合とセットアップのためのモジュール設計を使用しており、簡素化されたユーザーインターフェイスのためのタッチスクリーンコントロールが装備されています。統合されたプロセス品質管理は、高度なプロセス監視と自動診断サービスを含むソフトウェアを使用して管理されます。472には、オペレータ保護用の統合安全センサーも装備されています。472は回転スピンドルと固定スピンドルを備えています。高速回転スピンドルは最適な速度の柔軟性を提供し、プログラミング制御スピンドルは精度と再現性を向上させます。ダイヤモンド研磨ディスクは、非常に平坦な表面を達成するために使用され、さらに研磨システムは、より高い精度で材料の薄い層を除去するために使用されます。自動化されたシーリングシステム、環境チャンバー、およびさまざまなツールも利用可能であり、事実上あらゆる材料の処理を可能にします。472は、幅広いウェーハ研削、ラッピング、研磨ニーズに対応する汎用性と精度を提供します。モジュラー設計により、統合とメンテナンスがこれまで以上にシンプルになり、自動化された制御により、信頼性の高い高品質の結果が毎回保証されます。472はウェーハ研削、ラッピング、研磨技術の頂点であり、業界で最高品質の最終製品とプロセスの信頼性を提供します。
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