中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #185156 を販売中

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ID: 185156
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
CMP polisher, 8" 1997 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472は、高精度の自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、大量のウェーハを効率的かつ高精度に処理するために使用されます。最大6インチのウェーハサイズで、完全に自動化された再現可能なプロセスを生成でき、生産範囲は0。1 umから10 umの最終バンプ高さです。IPEC Avanti 472は、さらなる加工に備えて、ウェーハを高水準の仕上げと平坦性に研削することを可能にします。各工程で少量の材料を除去する高度な研削方法を使用しており、均一で汚染のない均一な表面仕上げを実現しています。また、さまざまなラッピングおよび研磨消耗品を提供し、さまざまな化学および研磨プロセスを使用してさまざまなレベルの均一な表面仕上げを達成することができます。WESTECH Avanti 472は、シングルスピンドルまたはマルチスピンドルなど、より大きなバッチや異なるタイプの材料用にさまざまな構成で提供されています。SPEEDFAM Avanti 472には、ユーザーが繰り返し可能で正確な結果を得ることができる精密およびクローズドループのフィードバック制御システムが含まれています。このユニットは、研削、ラッピング、研磨パラメータのフィードバック制御を提供するために、ハイテクなセンサーを使用しています。これらのパラメータを統合し、マシンにリアルタイムインターフェイスを提供するために、プログラマブルロジックコントローラのセットも含まれています。これにより、オペレータはプロセスをタイムリーに監視および調整し、問題や誤動作を迅速に特定して是正措置を講じることができます。このツールには、ユーザーフレンドリーで直感的なソフトウェアが含まれています。このHMIは、プロセス全体のユーザーフィードバックを提供し、プロセスを変更して微調整するだけでなく、プロセス中に収集されたすべてのデータを保存することができます。このデータは必要に応じて簡単に取得できます。Avanti 472には、お客様の個々のニーズを満たすために、さまざまなオプションのアクセサリーとオートメーションソリューションが付属しています。このアセットは、コストを削減しながらスループットと精度を向上させるように設計されています。その堅牢な設計と高精度制御を組み合わせることで、あらゆるウェーハ加工アプリケーションに最適です。
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