中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avantgaard 676 #9092866 を販売中
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ID: 9092866
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
CMP system, 8"
Used for Tungsten Polish
676 Mainframe with Operator Interface Monitor
System Computers: (1) SysCon, (4) Polish Heads, (1) Endpoint, (1) C2C
ystem Software: Advantgaard 676 3.0 rev S S
Brookside Endpoint Detection System with Configurable Algorithm to Detect Endpoint
(4) Mechanical polishing heads with Advanced Pad Motion
(3) Systolic Pumps for Slurry or DI Water
High Flow DI Water Rinse Valve Configuration
Upper and Lower Pneumatics Panel
Hoist for Upper Motor and Tower Removal
(2) Pad Conditioning Systems
Cassette to Cassette Wafer Handling System
Genmark Gencobot Multi-Axis Robot with Wafer Pickup Paddle
Wet Cassette Assembly with Wafer Sensor Array
Spray Box Assembly
Electrical Cabinet with Computer Control Station
1996 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 676ウェハ研削、ラッピング、研磨装置は、集積回路(IC)の部品を製造するための包括的なプラットフォームです。最新のオートメーション技術を搭載し、高い精度とスループットを実現しています。研削、ラッピング、研磨技術を組み合わせ、欠陥を最小限に抑えた滑らかで平らな表面を実現します。IPEC Avantgaard 676はダイヤモンドによって塗られる粉砕車輪が付いている精密粉砕機を含んでいます。研削工程を通して、ダイヤモンドの粒子は、所望の表面粗さを得るために着用されます。表面をさらに洗練するために、ラッピング処理が使用されます。これは、残りの欠陥を除去するために、特定のサイズ分布の回転研磨材料を利用することを含みます。さらに、このユニットは、同様に回転研磨材を使用して微細な表面仕上げを復元および強化するファインポリッシャを備えています。このマシンは、柔軟な工具ハンドリングマシンとセルフセンタリングスピンドルを備え、ユーザーフレンドリーに構築されています。さらに、工具からウェーハの積み下ろし、研削、ラッピング、研磨工程の調整など、複数の機能にプログラムできる高性能ロボットアームを搭載しています。この資産はさらに、プロセスを監視および評価するための幅広い措置を備えています。これらには、先進のプロセスモニタリングモジュールが含まれ、スピンドル速度や圧力などのプロセスパラメータをリアルタイムで監視できます。さらに、このモデルには、プロセスの統計分析を提供する詳細なデータロギング装置が含まれています。最後に、WESTECH Avantgaard 676には最新の安全機能が搭載されており、異常または誤動作の場合にはプラットフォームが完全にシャットダウンされることを保証する堅牢なインターロックシステムが含まれています。また、IEC (International Electrotechnical Commission)の安全規則に従って製造されています。全体として、Avantgaard 676は強力で信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットであり、半導体業界の厳しい要件を満たすように設計されています。ユーザーフレンドリーな設計、幅広い機能、高度な安全機能により、高精度IC生産に最適なプラットフォームです。
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