中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Auriga #141543 を販売中

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Aurigaは、半導体、MEMS、光電子産業の一環として、精密研削および研磨用途向けに設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。その主な目的は、さまざまなアプリケーションのためのコンポーネントの表面と形状を改善することです。IPEC Aurigaは、デュアルスピンラッピング/研磨プロセスを利用して、2つの別々の研削ヘッドを使用して、スループットと操作性を向上させます。各研削ヘッドは、特定の直径とピッチにプリセットすることができるウェハチャックとジグを備えており、迅速かつ正確な研削と研磨のために設計されています。自動ディスペンスシステムと2軸4速ステージドライブがユニットに統合されています。WESTECH Aurigaには、リニアスキャンと3D/rotaryスキャンの両方を組み込んだ自動多軸モーションコントロールマシンが装備されており、研削と研磨プロセスを正確に制御し、高精度、低コストの光学および表面正規性の部品を製造することができます。特許取得済みの3Dスキャンツールには、高解像度のポジションエンコーダと制御ソフトウェアが組み込まれており、反復可能で正確かつ制御された結果を保証します。さらに、Aurigaアセットには、クローズドループ圧力、潤滑剤、流体温度制御モデルが装備されており、部品から部品への一貫した、正確で再現性があり、信頼性の高い結果を提供するように設計されています。オペレータと機器の保護のための包括的な安全システムも含まれています。SPEEDFAM Aurigaユニットは、高精度の研磨および研磨作業用に設計されており、セラミックス、サファイア、複合材料、ゴム、プラスチックなど、さまざまな材料の他の方法よりも正確で一貫していることが示されています。半導体、MEMS、光学産業での使用は、その能力と信頼性の証です。