中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 825 #9399796 を販売中

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 825ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、非常に精密で超滑らかな表面を生成するように設計された強力で汎用性の高いウェーハ処理システムです。シリコン、ヒ素ガリウム、サファイアなど様々なウエハーの研削、ラッピング、研磨が可能な全自動ユニットです。プレフィルムやラッピング用の複数のスピンドル、高速加工用の研削ホイールを備えています。水冷工具や自動減衰アセットなど、材料の流れを制御するためのさまざまな機能を内蔵しています。IPEC 825は、非常に高精度のウェーハ表面を生成することができ、RMSの粗さ値が0。1nm以下のサーフェスを生成することができます。マイクロエレクトロニクスや半導体製造、ウェーハの薄型化や平面化に最適です。このモデルは、調整可能な速度制御を備えており、最大10,000rpmの速度で動作することができます。また、プログラム可能なサイクルタイマーを備えており、ユーザーは任意のプロセスに必要なサイクル数を指定できます。WESTECH 825のグラインドチャンバーには、ウェーハクランプ装置とインラインオートレベリング機能が装備されています。また、ゼロクリアランス、ウォータークーラントシステムが含まれており、研削、ラッピング、研磨プロセス中に作業表面を冷却し、潤滑を維持します。このユニットの制御とソフトウェアには、精密なスピンドル制御と速度同期のための機能も含まれています。825はまた磨くテーブルおよび統合されたダイヤモンドの混合の貯水池機械が装備されています。これにより、ユーザーは最大3つの異なるポリッシングヘッドを接続して、異なるウエハサイズを同時に磨くようにプログラムすることができます。ウェーハテーブルは直径150mmまでのウェーハに対応でき、手動モードと自動モードの両方で動作できます。汎用性が高く、薄膜デバイス、フラットパネル、MEMSデバイスなど幅広い用途に適しています。このツールは国際規格に認定されており、そのコンポーネントは最高品質の結果を提供することが保証されています。SPEEDFAM 825は、特定の生産要件に合わせたパッケージの範囲で提供されます。IPECは、お客様に利用可能な最高のウェーハ処理資産を提供することにコミットしており、IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 825は、性能と信頼性の両方でこのコミットメントを満たします。