中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #8353 を販売中

IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676
ID: 8353
Orbital CMP tool With APC Upgraded to 500 MHz Pentium computer Configuration: (3) Cassette litter load / Unload station Advanced pad motion control High speed polish drive: 0 to 600 RPM Closed loop delta P control End point detection system Stainless steel polish bell (2) Pad conditioners.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、半導体産業で使用するためのウェーハの効率的で効果的かつ正確な準備のために設計されています。このシステムは統合された粉砕/磨くテーブル、粉砕/磨く頭部、調節可能なテーブルカバー、スラリーおよび潤滑油の配達およびろ過システムで構成されます。テーブルおよび粉砕の頭部は堅く、調節可能なプラットホームから成り、さまざまな角度、厚さおよび形を渡る一貫した物質的な取り外し制御を可能にします。調節可能なテーブルカバーは、一貫した範囲内の温度を保持し、酸化または汚染の可能性を最小限に抑えながら、研削ヘッドとワークテーブルを保護します。テーブルのカバーはまた粉砕/磨く区域に粒子状物質が入ることを防ぐ塵カバーとして機能します。スラリーおよび潤滑剤の配達はウェーハに適用される材料の量を最適化するように設計されており、ろ過システムは粒子からの損傷を最小限に抑え、最も細かく磨かれた表面だけが達成されるようにします。このユニットは、化学/機械プロセスと平面、方向研磨/研磨操作の両方を利用しており、基板およびアプリケーション間で一貫した材料除去率を実現します。IPEC 676ウェハ研削、ラッピング&研磨機は、高度な自動化のために設計されており、研削/研磨操作の精度と精度を確保するために、プログラム可能なパラメータと設定が装備されています。このツールは、安全設定とフェイルセーフ機能を備えたユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えており、毎回安全で生産的な操作を保証します。加工される材料の種類に応じて、最適な結果を得るために、研削および研磨化合物の広い範囲も利用できます。WESTECH 676ウェーハ研削、ラッピング&研磨資産は、大小のウェーハの両方を処理することができ、一貫した、高品質の仕上げを提供します。このモデルは、さまざまなウェーハ素材の高精度な仕上がりと滑らかさを実現するために必要な誰にとっても最適な選択肢です。効率的で信頼性の高い性能により、装置は毎回完璧な仕上がりを保証し、あらゆるウェーハ生産アプリケーションに不可欠なツールとなります。
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