中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #105137 を販売中

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、精密かつ効率的な薄型化、平面化、およびウェーハ研磨のための機械です。シリコン、II-VI、 III-Vウエハの直径2〜8インチまでの薄型化・平面化に一般的に使用されます。低k、ガラス、ポリマー、セラミック、複合材料の加工が可能です。システムは、調整可能な研磨研削ベルトと固定ダイヤモンドカップホイールで構成されています。この構成により、シングルサイド薄型化とダブルサイド薄型化を選択できます。ユニットには、過負荷保護センサー、リアルタイムビデオイメージング、およびループ制御機があります。これにより、ダイの平坦性が向上し、均一性が向上し、スループットが最大化されます。さらに、IPEC 676には、空気圧制御ラッピング材料を利用した3段階の粘着ラッピングツールがあります。ウェーハの表面粗さを洗練するステージです。機械は可変的な速度制御がある可変的な速度の磨く頭部を特色にします。また、可変ラッピングプラテン、可変研磨圧力、可変荷重/荷降ろし位置も備えています。ウェーハ加工時の柔軟性を実現します。WESTECH 676には、ユーザーフレンドリーなコントロールを備えたコンピュータ制御資産も含まれています。これにより、オペレータは、品質と生産性の最適化のためのツールを簡単にプログラムし、調整し、監視することができます。最後に、ポンプ、バックアップタンク、スピニングフィルター、冷却システムなど、あらゆる種類のウエハ材料を効率的に動作させるためのあらゆる補助部品を搭載しています。676はウエハ研削、ラッピング、研磨に最適なソリューションです。この精密機器は、反復可能で効率的で高品質な結果を提供するように設計されています。さまざまなウェーハ材料で均一な表面を生成することができ、スループット、品質、ウェーハ生産の歩留まりを向上させるための優れた選択肢です。