中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9384488 を販売中

IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472
ID: 9384488
ウェーハサイズ: 6"
CMP Systems, 6".
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472は、最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、マルチクリスタルシリコンなどの個々の結晶軸からフラット、ローからミディアムカラットウェーハを研削、ラッピング、研磨するために設計されています。薄膜研磨からフラット、低反射面まで幅広い用途にご使用いただけます。直径12インチまでのウェーハに対応可能で、低表面粗度を実現できる可変速度駆動機を備えています。IPEC 472は、高精度を実現するために可変速度メインホイールとセカンダリースピンドルホイールを採用しています。4軸ポジショナにより、スピンドルに対してウェーハの正確な位置を確保し、完全な表面処理と一貫性を実現します。このツールには、堅牢で反復可能なデータ分析とウェーハ計測用の高度なソフトウェアも装備されており、達成可能な表面を可能にします。この資産はまた、適切な集塵と大気品質管理を確保するために統合された排気フードを利用しています。また、ウェーハへの潜在的な損傷を防ぐために、圧力レベルやその他の関連情報を監視することができます。さらに、WESTECH 472は、手動研削および研磨プロセスと比較して、より高いレベルの均一性を達成することができます。それはまた費用効果が大きいように設計され、望ましい表面品質が達成されることを保障するプロセスのより大きい制御をユーザーに与えます。SPEEDFAM 472は、最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルです。低中から中型のカラットウエハを正確に研削、ラッピング、研磨し、可変速度駆動装置により高精度を実現します。さらに、統合された排気フード、圧力監視システム、および高度なソフトウェアにより、安全で費用対効果が高く、繰り返し可能なウェーハ研削および研磨プロセスが保証されます。
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