中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9297205 を販売中

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ID: 9297205
ウェーハサイズ: 8"
Polishers, 8".
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472は、最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。半導体ウェーハの精密平坦研削、ラッピング、研磨用に開発されました。超平坦なウェーハ表面を高均一性で作成する最速かつ最も正確な方法を提供するように設計されています。ユニットは、構成と拡張が容易なモジュラー設計で構成されています。高精度で再現性に優れ、幅広い研削・研磨構成を実現しています。50,000 rpmまでの速度で動作できる強力な研削モーターを備えており、より高速な研削時間を可能にします。このマシンには、高精度で再現性の高い強力なクローズドループ駆動ツールが装備されています。IPEC 472は、強力なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えた自動化されたプロセスコントローラを備えており、研削および研磨プロセスの簡単なセットアップとプログラミングを可能にします。それは999までの調理法を貯え、32まで粉砕および磨く周期を動かすことができます。さらに、アセットには、特定の材料や基材のラッピングと研磨のための統合ラッピング構成が含まれています。また、モーター駆動のウェーハチャックを搭載し、ウェーハの正確な移動を可能にし、自己完結型のクーラント/集塵装置を搭載しています。集塵システムは、作業環境へのダスト粒子の侵入を排除し、完成品の清潔さと品質を確保するのに役立ちます。最高レベルの性能を確保するために、WESTECH 472には、アプリケーションの精度を検証し、研削および研磨プロセスに最適な動作設定を設定するために使用される精密光学フラットが含まれています。このユニットには、ダイヤモンド研削ホイール、研磨ヘッド、研削プレートなど、さまざまなアクセサリーも付属しています。全体として、SPEEDFAM 472は、これまでにないレベルの精度と再現性を提供できる高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。モジュラー設計により、簡単な再構成が可能で、強力なモーターにより、迅速な研削と研磨サイクルが可能です。さらに、統合された集塵ツールは、クリーンで高品質な結果を保証します。
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