中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9230899 を販売中

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472は、半導体ウェーハ製造のためのウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。これは、高品質のウェーハを連続的なフロープロセスで確実かつ正確に製造するために特別に設計されています。IPEC 472システムは、完全に自動化されたセットアップおよびオペレータ制御、精密な動きと高精度のための独自のCNC （Computer Numerical Control）モーションコントロールユニット、および研削と研磨動作の自動自己監視とセルフチューニングのための特許取得済みの高分解能測定機を備えています。このツールは、時間とコストを最適化し、できるだけ効率的に設計されています。この資産は、ウェーハを積み込み、接地し、ラップし、研磨する主要な生産タワーで構成されています。タワーは、6軸高トルクCNCマシンによって制御されており、研削速度、圧力、傾き、深さ、および可変ラッピングおよび研磨パラメータを調整できます。粉砕および磨く段階は異なったプロダクト条件のために容易に変更することができます。各研削ヘッドで加工するウェハの向きを容易にするための独立したサイドシフト装置と、研削面と研磨面の間の適切な接触を確保するための傾斜と回転ベルトドライブがあります。さらに、このモデルは完全に自動化されたダイヤモンドラッピングと研磨ステーションを備えており、完全にプログラム可能で調整可能な回転速度を備えています。また、独自の高分解能測定システムを搭載し、研削および研磨プロセス全体にわたってウェーハを測定します。この測定は、研削および研磨ジョブの品質にリアルタイムのフィードバックを提供し、自動セルフチューニングを可能にするために使用できます。これにより、高性能ウェーハの製造に必要な高品質の規格が保証されます。さらに、WESTECH 472ユニットは、ノイズや振動を低減する強力なオフボードチラーとポンピングマシンを備えており、クリーンルーム環境での使用に適しています。472は半導体ウェーハの生産に最適で、最高レベルの精度、信頼性、コスト効率を提供します。使いやすいプログラマブルオートメーションと高度な計測および測定機能により、高品質で高性能なウェーハの製造に最適なソリューションを提供します。