中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9224973 を販売中

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、最大8インチ（200 mm）のウェーハを効率的に再現するように設計されています。この高性能で自動化されたシステムは、超精密研削、ラッピング、研磨のための信頼性と再現性の高いソリューションです。IPEC 472は高い均等性および高い垂直性機能を提供します。このマシンには4ステーションのカルーセルが付属しており、一度に最大4ウェーハをロードできます。各ステーションには、独立したモーター付きラッピング/研磨ヘッドと、研削と切断のための2つのX/Yブレードが含まれています。機械はIII-V半導体、SiC、柔らかい金属、サファイア、スピンオンガラスおよび石英のようなすべてのタイプの材料を扱うことができます。ユーザーは正確で、一貫した精密粉砕および磨くプロセスを提供するためにプロセス条件に従って変数を置くことができます。このユニットは、ユーザーフレンドリーで直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）と統合されており、自動停止、オートリピート、オートフィード緊急シャットダウンなどの機能を提供します。堅牢な安全機能と高度なロボット技術により、オペレータの時間を最小限に抑えながら、卓越した信頼性と再現性が向上します。WESTECH 472には、使用中の熱負荷を排除しながら、高い研削速度と解像度を実現できる高共鳴駆動機も搭載しています。高効率の真空ツールにより、ウェーハおよびラッピング/研磨ソリューションの効率的な収集が保証されます。また、統合された濾過アセットにより、空気中の汚染物質を含まないクリーンな作業環境が保証されます。SPEEDFAM 472には、調整可能なウェーハホルダーとチャックが付属しています。ホルダーは大型の重いウェーハ用に設計されており、安全なホールド用に機械的にクランプされています。さらに、ユーザーはIPECリソースセンターソフトウェアスイートを介してツールをプログラムおよび制御できます。このスイートは、包括的なプロセス監視、統計プロセス制御ツール、迅速なプロセス最適化とデータ管理を提供します。472ウェーハ研削、ラッピング&研磨モデルは、経済的なコストで優れた精度で最高レベルの生産性を提供する最適化されたソリューションです。精密で正確で一貫した結果を得て、半導体および電子部品業界で広く使用されています。