中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9220760 を販売中

IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472
ID: 9220760
ウェーハサイズ: 6"
CMP Polisher, 6".
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472は、3インチウェーハと6インチウェーハの両方を迅速かつ正確に処理するように設計された、半自動ウェーハ研削および研磨装置です。優れた研磨・研磨能力を有し、高度なアルゴリズムと自動化されたウエハ表面研磨機能を採用しています。IPEC 472の中心は特別に設計されたダイヤモンドの粉砕のプラテンとともに、速く、非常に均一な粉砕を可能にする遠心粉砕の単位です。また、ダイナミックブレーキと使いやすいタッチコントロールで設計されており、研削工程を完全に制御することができます。また、ボタンを押すだけで粗削りと仕上げ研削を切り替えることができます。研削工程終了後、アセットは研磨フェーズに移行します。ここでは、高速かつ高精度のウェーハ研磨を保証する高度な負荷制御技術を搭載しています。この装置は、ロボットアーム、ローラー、エアジェットでウェーハを正確に準備、保持、磨くことができるユニークなロボットと制御システムを備えています。さらに、ウェーハ上の研磨材料の均一な分布を確保する高度なアルゴリズムで研磨プロセスを制御します。最後に、ウェーハの各バッチが適切に処理されるように、ユニットにいくつかの自動検査機能を装備することができます。高精度の光源と充電結合デバイスカメラを組み込むことで、ウェーハ表面の過剰な研磨や研磨を正確に検出することができます。全体として、WESTECH 472は、高いレベルのウェーハ表面精度を達成するための世界クラスのウェーハ研削および研磨ツールを提供しています。このアセットは、高度なアルゴリズム、遠心研削技術、および完全自動化されたロボット研磨モデルを組み合わせて、処理用のウェーハ表面をより迅速かつ正確に準備します。
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