中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9216748 を販売中

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、大量生産用に設計された産業用グレードの自動ウェーハ仕上げシステムです。このマシンは、高度なSiemens Sinumerik 802D CNC制御と2軸同時操作を備えた60kW研削スピンドルモータを使用しています。この高品質な工業グレードのユニットは、300ミクロンと最大直径200mm （8インチ）のウェーハを処理することができます。研削、ラッピング、研磨プロセスは、3軸回転アクションを備えた高度な精密研削ヘッドのおかげで、精密かつ効率的です。このヘッドはシングルポイントダイヤモンド研削が可能で、完全に平坦で滑らかな表面を作成します。2軸同時操作により、オーバーラップを排除し、各軸の研削ヘッドのrpmレギュレーションを提供することにより、精密な表面生成を保証します。機械はまた低い粉砕力の有効な物質的な取り外しのための圧力調整装置が付いている磨く頭部を特色にします。この圧力レギュレータは低接触圧力で最適な材料除去を実現し、内蔵の加速度計はウェーハのサイズに自動的に圧力を調整して工具寿命を最大化します。統合されたLSIエラー検出ツールは、すべてのセンサーとアクチュエータを監視し、適切な動作を保証し、ダウンタイムを最小限に抑えます。手動フィードおよび自動ウェーハ処理用に、真空および圧力制御コンベアアセットが含まれています。また、研削工程間の稼働時間を増やすためのツールチェンジャーとツールストレージも含まれています。この機械は、加工されたウェーハを環境汚染から保護するように設計された密閉された環境に囲まれています。ろ過モデルには、HEPAフィルターと空気加湿器が含まれており、機器内の空気をきれいに保ち、安定した湿度レベルを提供します。全体として、IPEC 472ウェーハ研削、ラッピング、研磨システムは、大量生産のための産業グレードの高度なユニットです。それは高度CNC制御、マシンヘッドおよびさまざまなセンサーが装備されており、圧力調整器、LSI誤差検出器、工具貯蔵、空気ろ過機、および封じられたクリーニング環境を含んでいます。