中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9210304 を販売中

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472は、半導体産業のニーズに応えるように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、高精度、高生産性、低所有コストのために構築されています。自動ウェーハチェンジャー、CCD表面プロファイル測定、複数のスピンドル研削/研磨ヘッドを組み込んで、サイクル時間を短縮し、ユニット性能を最大化します。IPEC 472は、3つの処理ステーションと機械制御ユニットを含む単一のハウジングで構成されています。ステーションには、研削/研磨ステーション、ラッピングステーション、オプションの追加加工ステーションまたは検査ステーションがあります。研削/研磨ステーションは、最大8つの加工ヘッドを収容でき、CCD自動表面プロファイリングツールを使用して、最高のパフォーマンスを得るために研削/研磨プロセスを監視および調整します。ダイヤモンド分配資産は、プロセスを介さない迅速かつ正確なダイヤモンド塗布のための研削/研磨ステーションと統合されています。ラッピングステーションには、アプリケーションの要件に応じて、必要な平坦性、滑らかさ、および表面プロファイルを達成するために使用される最大3つの調整可能なラッピングヘッドが装備されています。ラッピングステーションには、ダイヤモンドスラリー粒子を迅速かつ効率的に分離するための粒子サイズと振動セパレータも含まれています。オプションの追加ステーションまたは検査ステーションには、目視検査機能用の顕微鏡と、プロセスのインプロセス結果および/またはオンライン制御の正確な非接触測定およびフィードバック用のレーザー干渉計が装備されています。WESTECH 472にはさまざまな機能が搭載されており、モデルのスループットと品質を最大限に高めることができます。独自のプロセス制御アーキテクチャは、スピンドル速度、圧力、タイミングなどの精密プロセス制御を提供します。伸縮ウェーハローダーを使用すると、ウェーハを機械の配送機器に直接自動的にロードおよびアンロードできます。実用的なキャビネットはきれいな、乾燥した圧縮空気および冷却水のろ過システムを提供します。また、真空濾過ユニットは、危険な塵の汚染とオペレータの暴露を低減するために閉じたループプロセスを維持するのに役立ちます。全体として、SPEEDFAM 472は、ウェーハ研削、ラッピング、研磨で最高の精度、効率、歩留まりを目指して設計された、信頼性の高い生産性の高いマシンです。このツールは、複雑なウェーハ研削、ラッピング、研磨用途に適しており、高スループット、低コスト、低ppm処理を求めるメーカーに最適です。