中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9158019 を販売中

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ID: 9158019
CMP Polisher.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472は、高精度の表面粗さ要件を備えたウェーハの量産用に設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、最大44,882 RPMのシングルスピンドル高速研削盤で構成されており、過剰な材料を正確に除去し、正確な深さに研削することができます。ラッピングステージは、ダイヤモンド研磨ディスクを使用して表面を滑らかにして平らにし、1マイクロメートルをはるかに下回る平坦度の値に達します。最後に、ミネラルオイル中に吊り下げられた研磨剤で反射性の高い表面を得る研磨段階を実施します。このユニットは、ウェーハのサイズと形状をプラスまたはマイナス1千分の1インチ内に保存できるという利点があります。このマシンは高効率で、最大3,000RPMの直径562mmまでのウェーハを処理できます。さらに、+/-1。5ミクロン平坦度の範囲内で動作し、優れた再現性を持っています。さらに、多軸アプリケーションにより、このツールは多くの業界のニーズに応えることができます。IPEC 472は、信頼性が高く堅牢なマシンです。使用される部品の多くは5,000時間以上の運転寿命を誇っています。さらに、資産は安全を念頭に置いて設計されています。手動および自動安全シャッターによって粉砕区域へのアクセスを制限し、危険な条件のオペレータに警告します。このモデルの高度なプログラミング機能により、ユーザー固有のプロセスを簡単に設定およびカスタマイズできます。さらに、自動化システムと同様に、さまざまな機械と統合することができます。結論として、WESTECH 472は、最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置であり、時間と材料の無駄を最小限に抑えたウェーハの量産を可能にします。優れた再現性、安全規格、耐久性を誇るこのシステムは、高精度な表面仕上げを必要とする業界に最適です。
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