中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9028335 を販売中

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ID: 9028335
CMP system Has run Oxide and Cu Currently in storage Can be inspected 1998 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472は、半導体産業で広く使用されている多機能ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、12インチまたは15インチのウェーハに相当するすべてのプロセスをサポートするように設計されており、少量生産と大量生産の両方に適しています。このユニットには、7軸のプログラム可能な制御と、一貫した研削圧力を確保するためのフォースフィードバックマシンが装備されています。IPEC 472には、幅広い研削ホイールとダイヤモンドラッピングディスクが装備されており、ウェハの微細な研削をナノメートルの精度で行うことができます。人間工学に基づいた直感的なデザインにより、ユーザーが介入することなく、すばやく研削とラッピングのプロセスを切り替えることができます。このツールは、柔らかく繊細な材料を研磨するための高性能スラリー資産、ならびに基板の重要な堆積と洗浄のために設計されており、最適な仕上がりを作成することができます。WESTECH 472は、シリコン、III-V化合物、SiGe、 InP、 GaAsなどの様々な材料や強磁性材料に適しています。また、ウェーハキャリアやオープンノズル、クローズドノズル研磨も可能です。472は、ダウンタイムを最小限に抑え、高品質で均一な表面仕上げを実現する強力なツールです。統合された診断機器とアラーム機能により、ユーザーはプロセスを遅らせる可能性のある問題をすばやく検出して特定できます。さらに、モジュラー設計により、将来的にアップグレード、メンテナンス、拡張が非常に簡単になります。要するに、SPEEDFAM 472は半導体産業のための信頼性が高く、正確で汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。
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