中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #25450 を販売中

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、半導体、装飾、産業市場での使用を目的とした高精度の自動コンビネーションマシンツールです。このIPEC 472システムは、機械設計、モーションコントロール、デューティサイクルオートメーションの最新技術を組み込んだエンジニアリングソリューションです。このユニットは、ユニークなテーブルを備えており、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスを介して多目的なインラインプロセス制御で幅広い部品を処理できます。機械は3つの主要な部品から成っています：プロフィールの柵、粉砕車輪およびラッピング/磨く版。プロファイルレールは、一度に最大3つのウェーハ用に設計されており、各ウェーハの長さ、幅、厚さを調整できます。粉砕車輪は強力なACモーターによって動力を与えられ、広い速度の範囲上の一定した精密を達成できます。また、ウェーハの破損を防止するための自己集塵機を備えています。ラッピング/ポリッシングプレートは、複数のウエハサイズと厚さに簡単に調整できるように設計されています。また、ラッピング/研磨プロセスを正確かつ再現可能に制御するための超精密ドレッシングバルブを装備しています。WESTECH 472は、自動化されたプッシュバックとリパッケージングステージを介して複数の部品バッチを処理することができるクローズドループのフロントローディング自動化ツールを内蔵しています。また、バリ取りやプロファイルウェーハ、研削バリを除去し、ウェーハの表面をラップまたは研磨することができます。この機械は、1um未満の研削精度と0。3um未満のラッピング/研磨精度に達することができ、延長された長さと最小のサーマルドリフトでサブミクロンの線形精度を備えています。SPEEDFAM 472はまた変更可能な据え付け品の広い範囲と合わせることができますユーザーが特定の条件に合わせるために機械を変更することを可能にします。また、超滑らかな動作を可能にする振動遮断機能を搭載しており、部品への振動影響を最小限に抑えた高生産率を実現しています。472は、オペレータに高精度、高構成、安全なウェーハ処理プラットフォームを提供し、一連の調整可能なパラメータ内で高い精度と再現性を実現します。また、歩留まりを一貫して改善し、ダウンタイムを最小限に抑えることで、大幅なコスト削減を実現できます。